[发明专利]一种等离子激元谐振波分复用器

权利要求书

1.一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，由金属薄膜（1），以及呈镂空状开设在金属薄膜（1）上的1条入射波导（2）、2条以上的出射波导（3）和2条以上的谐振腔（4）组成；出射波导（3）和谐振腔（4）的数量相同，1个出射波导（3）对应1个谐振腔（4）；所有谐振腔（4）及其内部的金属膜块（5）的尺寸相一致；

入射波导（2）为长条形；入射波导（2）的前端延伸至金属薄膜（1）的边缘处，入射波导（2）的后端延伸至金属薄膜（1）的中部；

每个谐振腔（4）均为圆形；谐振腔（4）分布设置在入射波导（2）的两侧和后端；每个谐振腔（4）内部均嵌设有1个矩形的金属膜块（5），且金属膜块（5）位于谐振腔（4）的中心处；

每个出射波导（3）均为长条形；每个出射波导（3）的前端与其所对应的谐振腔（4）相对，每个出射波导（3）的后端延伸至金属薄膜（1）的边缘处；

谐振腔（4）与入射波导（2）和出射波导（3）之间均存在一定距离，且出射波导（3）的延伸方向与入射波导（2）的延伸方向垂直和在同一条直线上。

2.根据权利要求1所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，金属膜块（5）为长条矩形。

3.根据权利要求1或2所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，金属膜块（5）的对称中心与谐振腔（4）的对称中心相重合。

4.根据权利要求1所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，入射波导（2）和所有出射波导（3）的宽度相同。

5.根据权利要求4所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，谐振腔（4）的直径等于入射波导（2）的宽度及出射波导（3）的宽度的两倍。

6.根据权利要求1所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是， 出射波导（3）与谐振腔（4）之间的距离等于该谐振腔（4）与入射波导（2）之间的距离。

7.根据权利要求1所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，设置在入射波导（2）的两侧的谐振腔（4）的个数相同。

8.根据权利要求7所述的一种等离子激元谐振波分复用器，其特征是，谐振腔（4）在入射波导（2）的两侧呈镜像对称设置。