[发明专利]辊到辊制造设备有效
申请号: | 201711173776.3 | 申请日: | 2017-11-22 |
公开(公告)号: | CN108123069B | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 李揆煌;金喆镐;鞠允镐 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 杜诚;王鹏 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 辊到辊 制造 设备 | ||
本发明涉及一种辊到辊制造设备,该辊到辊制造设备包括:注入板,该注入板用于将化学处理液注入在膜上,该膜被从供给辊传送至收集辊;以及液体阻挡辊,该液体阻挡辊设置在供给辊与收集辊之间并且被配置成防止从注入板注入的化学处理液被引入至其他工艺区域。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2016年11月28日提交的韩国申请No.10-2016-0159701的在先申请日的权益以及该韩国申请的优先权的权利,以上申请的全部内容通过参引并入本文。
技术领域
本说明书涉及辊到辊制造设备,并且更具体地涉及能够快速执行工艺并能够均匀地执行显影工艺的辊到辊制造设备。
背景技术
近来,正在开发使用诸如塑料基板的延性基板的柔性显示装置,以增强便携性和便利性。这种柔性显示装置以下述方式制造。首先,将由诸如聚酰亚胺的塑料材料形成的基板附接到由玻璃形成的母基板上。然后,通过包括TFT工艺的各种工艺在母基板上形成多个显示面板,然后按显示面板单位切割母基板并且将塑料基板与母基板分离。
然而,制造这种柔性显示装置的常规方法具有以下问题。
近来,积极进行持续的研究通过连续的内联工艺来制造显示装置,从而降低昂贵的显示装置的制造成本。然而,在将塑料基板附接到玻璃母基板上的情况下,需要大面积的昂贵的玻璃基板。这可能会使制造成本增加,并且由于塑料基板和玻璃基板应当彼此附接并且随后彼此分离,因此需要额外的装备和工艺。因此,整体制造成本增加。
此外,即使在大的母基板(玻璃基板)上形成有多个显示面板,在母基板的每个单元中仍执行工艺。因此,不能执行连续的内联工艺。
发明内容
因此,详细描述的各方面提供了一种辊到辊制造设备,该辊到辊制造设备能够通过在辊之间传送的膜上形成显示面板而快速且连续地执行内联工艺。
详细描述的其他方面提供了一种辊到辊制造设备,该辊到辊制造设备能够通过使用液体阻挡辊来防止相应的工艺区域的化学处理液被引入到其他工艺区域中,并且能够维持所施加的化学处理液的均匀厚度。
为了实现这些及其他优点并且根据本说明书的目的,如本文中所实施和广泛描述的,提供了一种辊到辊制造设备,该辊到辊制造设备包括:注入板,该注入板用于将化学处理液注入在从供给辊传送至收集辊的膜上;以及液体阻挡辊,该液体阻挡辊设置在供给辊与收集辊之间并且被配置成防止从注入板注入的化学处理液被引入至其他工艺区域。
该辊到辊制造设备还包括:空气帘,该空气帘设置在相应的工艺区域的边界处并且被配置成通过注入空气而防止化学处理液被引入至其他工艺区域;以及防护构件,该防护构件设置在相应的工艺区域的边界处,并且被配置成防止来自空气帘的空气被注入至相应的工艺区域。
化学处理液包括显影溶液和蚀刻溶液。此外,液体阻挡辊被安装成能够根据待施加的化学处理液的厚度而上下移动,使得化学处理液不断地施加到膜上。
附图说明
所包括的附图用于提供对本公开内容的进一步理解并且被并入本说明书中且构成本说明书的一部分,附图示出了示例性实施方式,并且与说明书一起用于解释本公开内容的原理。
图1是示出了用于制造有机电致发光装置的方法的流程图;
图2是示出了用于形成显示装置的电极的方法的流程图;
图3是示出了根据本公开内容的辊到辊制造设备的视图;
图4A和图4B是示出了根据本公开内容的辊到辊制造设备的膜的视图;
图5A和图5B是示出了根据本公开内容的辊到辊制造设备的显影单元的结构的视图;
图6是示出了根据本公开内容的辊到辊制造设备的注入板的结构的视图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐金显示有限公司,未经乐金显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711173776.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择