[发明专利]一种真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，所述的真空泵包括泵轴和设置在泵轴上的密封圈，所述的泵轴由铝合金制成，所述的密封圈由PTFE复合材料制成。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述泵轴铝合金由如下成分及其质量百分比组成：N：0.1-0.2％、C：0.3-0.5％、Mg：0.25-0.5％、Mn：1.2-1.5％、B：0.25-0.6％、Ti：0.2-0.25％、Ta：0.05-0.15％、Hf：0.08-0.22％，余量为Al及不可避免的杂质。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述的PTFE复合材料包括PTFE、碳纤维、聚苯醚、二硫化钼、PbWO₄粉体、H₂IrCl₆·H₂O。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述的PTFE复合材料中碳纤维、聚苯醚、二硫化钼、PbWO₄粉体和H₂IrCl₆·H₂O分别占复合材料总质量的2-5％、5-8％、1-2％、0.5-3％和3-5％，余量为PTFE。

5.一种真空泵的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括如下步骤：

称取泵轴铝合金的成分及其质量百分比，在惰性气体下加热熔炼，然后进行浇铸得到铸件；

将铸件经过热锻压、机加工得泵轴半成品；

将泵轴半成品先热处理，然后进行微弧氧化，得到泵轴成品，备用；

按照密封圈PTFE复合材料的组成称取原料，混料、挤出成型得密封圈，备用；

在真空泵中组装上泵轴成品与密封圈，得真空泵成品。

6.根据权利要求5所述的真空泵的制备方法，其特征在于，所述的热处理包括固溶处理与时效处理。

7.根据权利要求6所述的真空泵的制备方法，其特征在于，所述的固溶处理为840-880℃，固溶处理的保温时间为1-3h，固溶处理的冷却速度为30-40℃/min，水冷。

8.根据权利要求6所述的真空泵的制备方法，其特征在于，所述的时效处理为220-250℃，时效处理的保温时间为1-2h，自然冷却。

9.根据权利要求5所述的真空泵的制备方法，其特征在于，所述微弧氧化的氧化温度为22-28℃，使用的电流密度分2阶段进行，在5-10min前使用的电流密度为5-8A/dm²，在15-30min的时候使用的电流密度为10-15A/dm²。

10.根据权利要求9所述的真空泵的制备方法，其特征在于，微弧氧化的总时间为25-30min。