[发明专利]悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器

权利要求书

1.一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，包括外壳、横梁支架、压电薄膜和信号处理电路，其特征在于，所述外壳是由上盖和下盖组成的密封空间，所述横梁支架设于上盖和下盖之间，所述横梁支架一端通过一个固定支点与所述下盖固定连接，另一端为悬空状态，所述上盖上设有触点，触点与横梁支架的悬空端相接触，用于压迫横梁支架的悬空端，所述压电薄膜紧贴横梁支架。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述上盖和下盖之间构成一体式结构，使外壳内部形成密封的箱式空间。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述上盖和下盖之间通过硅胶垫粘合，使外壳中间形成内部空间。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述外壳内部表面设有电磁屏蔽层。

5.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述外壳由电磁屏蔽材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述横梁支架由硬质材料制成。

7.根据权利要求4或5所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述信号处理电路集成于PCB板上，该PCB板固设于下盖上。

8.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述上盖上触点至少设有一个。

9.根据权利要求3所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述上盖和下盖之间粘合处设有硅胶，用于封闭上盖和下盖之间的缝隙同时配合上盖和下盖之间的相对运动。

10.根据权利要求1所述的一种悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器，其特征在于，所述触点为柱体结构或椎体结构。