[发明专利]基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜有效
| 申请号： | 201711168748.2 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN107919260B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 向导 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/29 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 热阴极 微波 电子枪 超高压 电子显微镜 | ||
1.一种基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜，其特征在于包括脉冲高压调制器(1)、速调管(2)、热阴极微波电子枪(3)、能量选择器(4)、聚焦成像系统(5)、泵浦激光系统(6)和电子探测系统(7)，所述的脉冲高压调制器(1)通过高压电缆与所述的速调管(2)连接，所述的速调管(2)通过波导与所述的热阴极微波电子枪(3)连接，所述的热阴极微波电子枪(3)通过真空管道依次连接所述的能量选择器(4)和所述的聚焦成像系统(5)连接，所述的聚焦成像系统(5)包括依次设置的缩束镜、导入反射镜、物镜、中间镜和投影镜螺线管磁铁，待测样品位于所述的物镜内；经所述的泵浦激光系统(6)输出的激光通过导入反射镜照射到所述的待测样品上，所述的电子探测系统，用于采集电子束对所述的样品的成像；
所述的热阴极微波电子枪(3)是一个品质因数10000的1.5cell微波谐振腔，通过控制谐振腔之间的相移，确保产生比常规1.5cell微波电子枪低一个量级能散的电子束。
2.根据权利要求1所述的基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜，其特征在于，所述的能量选择器(4)内设有偏转磁铁，在该偏转磁铁中部设有狭缝。
3.根据权利要求1或2所述的基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜，其特征在于，所述的脉冲高压调制器(1)用于将380V的市电转化为120kV脉宽5微秒的脉冲高压，并通过高压电缆与速调管连接，驱动速调管。
4.根据权利要求1或2所述的基于热阴极微波电子枪的超高压超快电子显微镜，其特征在于，所述的速调管(2)用于将微波源的信号放大到5MW的峰值功率，通过波导与热阴极微波电子枪连接，驱动热阴极微波电子枪。
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