[发明专利]一种陶瓷高温振动传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：该传感器由上表层、支撑层以及下表层通过层压烧结成型固化而成的形；

所述上表层由四层生瓷片层压而成，最上层的生瓷片上表面印刷有电感线圈，最下层的生瓷片下表面印刷有电容上极板，且四层生瓷片中心处均开设有第一通孔；

所述支撑层由三层生瓷片层压而成；所述下表层由三层生瓷片层压而成，最下层的生瓷片的外表面上印刷有电容下极板；

所述上表层、支撑层以及下表层中的所有生瓷片右侧均开设有第二通孔，所述电感线圈与电容上极板通过第一通孔内的铂浆层相连，所述电感线圈与电容下极板通过第二通孔内的铂浆层相连。

2.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：所述生瓷片采用HTCC高温共烧陶瓷材料，电感线圈、电容上极板和电容下极板印刷浆料均采用铂浆。

3.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：所述电感线圈为平面方形螺旋电感线圈。

4.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：所述第一通孔布设在电感线圈的中心环心垂直方向上。

5.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：所述第二通孔布设在电感线圈末端环心的垂直方向上。

6.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：所述电感线圈的一端通过第一通孔内的铂浆层与电容上极板相连接，末端通过第二通孔内的铂浆层与电容下极板相连接。

7.如权利要求1所述的一种陶瓷高温振动传感器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1、按所需尺寸将生瓷带切割成生瓷片，并放入烘干炉中进行预加热；

S2、通过打孔装置在完成预加热的上表层的四层生瓷片中心处以及上表层、支撑层以及下表层中的所有生瓷片的右侧开设通孔；

S3、打孔完成以后，采用顶层抽吸的方法使用铂浆对通孔进行填充，并在加热炉中进行烘干加热实现其金属化；

S4、将印刷网版放置在印刷机上，调整印刷网版与生瓷片的位置使两者居中对齐，然后加入铂浆，通过丝网印刷技术在上表层的最上层的生瓷片上表面上印制所需的电路图形，形成电感线圈；重复上述步骤完成上表层的最下层的生瓷片下表面、下表层的最下层的生瓷片上的电容极板的印刷；

S5、将印刷好的生瓷片置于烘干炉内进行烘干处理，使铂浆干结，通过叠片机将印刷好的各部分生瓷片按所需层次和次序叠加在一起；

S6、将叠片完成后的多层生瓷片进行真空密封并放入层压机中进行层压，在温度为45℃、压力为5MPa的环境下，使每层生瓷片紧密粘合在一起，形成一个完整的生瓷胚体，并将其放入高温烧结炉内进行高温共烧，使其固化成型。