[发明专利]加工设备有效
申请号: | 201711164011.3 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN108089413B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 托马斯·瓦尔;卡斯滕·康泰克;约克·保姆巴赫 | 申请(专利权)人: | 曼兹股份公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
代理公司: | 北京博华智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11431 | 代理人: | 樊卫民;谭彦闻 |
地址: | 德国罗伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 设备 | ||
为了改进一种用于具有两个相互对置设置的板侧面的板状体、特别是待曝光的板状的基板主体的加工设备,从而例如使得可以精确识别板状体的定向并且特别是能尽可能相互精确地将两个板侧面所配备的结构定向,为此提出,加工设备包括具有两个子压印机构的压印系统,所述两个子压印机构设置在几何压印基准面两侧,所述子压印机构中的每一个都分别包括至少一个朝向几何压印基准面的压印冲头,并且加工设备具有用于板状体的引导部,该引导部使所述板状体基本上在压印基准面中定向。
技术领域
本发明涉及一种用于板状体的加工设备,所述板状体具有两个相互对置设置的板侧面,所述加工设备特别是用于待曝光的基板主体。
背景技术
这样的加工设备是已知的。
特别是,这样的加工设备设置用于,使两个对置设置的板侧面中的至少一个、特别是两个板侧面配备有预定义的结构。
在已知的加工设备中存在应精确识别板状体的定向的问题。
还存在应将预定义的结构尽可能精确地相互定向的问题,所述预定义的结构在两个板侧面上引入。
在一些已知的加工设备中,使用板状体的角部和/或边条来识别板状体的定向、特别是位置,例如通过图像识别系统确定板状体的位置。
然而,在这种情况下存在如下问题,即,在边条粗糙或者不平时和/或当角部的倒圆过大时,识别装置无法或者不能可靠地行使功能。
此外,可能发生的是,边条在图像识别系统的识别区域中的延伸尺寸并未大到足以精确检测边条并且因此不能实现精确的检测。
在另一些已知的加工设备中,在板状体的感光层中通过曝光、例如通过UV激光器引入标记、特别是点状的曝光标记。
这具有如下缺点,在一些感光材料中在曝光时不产生颜色变化,并且不能以这种方式引入能通过图像识别系统识别的标记。
另一个缺点在于,颜色变化在一些光化学过程中发生延时,从而仅在延时之后才能识别标记并且才能进一步处理板状体并且因此在板状体的加工方法中产生不期望的等待时间。
在DE 10 2008 038 835中描述了一种方法,在该方法中通过集成在曝光台上的芯轴在两个板侧面的其中一个板侧面上引入标记,而曝光这两个板侧面的另一个板侧面。
在此,缺点在于,板状体通过真空固定被固持并且芯轴的挤压力必须小于由真空产生的固持力,但是该挤压力过小不足以产生足够大且可靠的标记。
发明内容
因此,本发明所要解决的技术问题在于,改进这种类型的加工设备,例如从而使得可以精确识别板状体的定向并且特别是配备给两个板侧面的结构能尽可能精确地相互定向。
按照本发明,所述技术问题通过开始时提到的类型的加工设备解决,即,所述加工设备包括压印系统,该压印系统在几何压印基准面的两侧各包括至少一个设置的子压印机构,其中,所述子压印机构中的每一个都分别包括至少一个朝向几何压印基准面的压印冲头,并且所述加工设备具有用于板状体的引导部,该引导部使板状体基本上在压印基准面中定向。
因此,压印系统包括至少两个子压印机构、例如包括恰好两个子压印机构,其中,在几何压印基准面的每一侧分别设置至少一个子压印机构。
按照本发明的解决方案的其中一个优点在于,借助于所述两个子压印机构的其中一个子压印机构的一个或多个压印冲头可以将压印标记压入所述两个对置设置的板侧面中的其中一个板侧面,所述压印冲头朝向压印基准面,并且借助于所述两个子压印机构的另一个子压印机构的一个或多个压印冲头可以将压印标记压入所述两个对置设置的板侧面的另一个板侧面,所述压印冲头朝向压印基准面。
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