[发明专利]光学式位移传感器以及具备此光学式位移传感器的系统

说明书

本发明提供一种能够根据用户的用途来设定最佳曝光时机的光学式位移传感器以及具备此光学式位移传感器的系统。光学式位移传感器(3)具备：投光部(33)，对工件(51)进行投光；受光部(34)，接收来自工件(51)的反射光而生成受光数据；处理部(32)，基于受光数据来算出工件(51)的位移量；输入部(35)，接收时间同步信号；以及输出部(36)，输出由处理部(32)所算出的位移量。处理部(32)响应由输入部(35)所接收的时间同步信号，对曝光时间进行控制，所述曝光时间是由投光部(33)对工件(51)进行投光的时间、与受光部(34)接收反射光的时间的重合而定。系统(100)具备光学式位移传感器(3)、及产生时间同步信号的控制设备(1)。

技术领域

本发明涉及一种光学式位移传感器(sensor)以及包含此光学式位移传感器的系统(system)。

背景技术

已知有对目标位移(移动量或者尺寸等)进行光学测定的光学式位移传感器。例如日本专利特开2001-280951号公报(专利文献1)揭示了一种光学式位移传感器，其具备投光部件和受光部件与运算部件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2001-280951号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

日本专利特开2001-280951号公报(专利文献1)中揭示的光学式位移传感器是自由运行(free run)地执行计测。根据用户的用途，认为存在用于计测的曝光的最佳时机(timing)。然而，所述传感器中，无法以与用户的用途相应的适当的时机来对计测对象物进行曝光。

本发明的目的在于提供一种能够根据用户的用途来设定最佳曝光时机的光学式位移传感器以及包含此种光学式位移传感器的系统。

[解决问题的技术手段]

本发明的一方面的光学式位移传感器包括：投光部，对计测对象物进行投光；受光部，接受来自计测对象物的反射光而生成受光数据；处理部，基于受光数据来算出计测对象物的位移量；输入部，接收时间同步信号；以及输出部，输出由处理部所算出的位移量。处理部响应由输入部所接收的时间同步信号，对曝光时间进行控制，所述曝光时间是由投光部对计测对象物进行投光的时间、与受光部接受反射光的时间的重合而定。

优选的是，处理部使曝光时间的开始时机与位移量的测定周期的开始时机一致。

优选的是，处理部使曝光时间的结束时机与位移量的测定周期的结束时机一致。

优选的是，处理部使曝光时间的中心时机与位移量的测定周期的中心时机一致。

优选的是，输入部受理与曝光时间的控制相关的用户设定，处理部基于设定来选择多个控制中的一个控制，所述多个控制包含第1控制、第2控制或第3控制中的至少两个，所述第1控制是使曝光时间的开始时机与位移量的测定周期的开始时机一致，所述第2控制是使曝光时间的结束时机与测定周期的结束时机，所述第3控制是使曝光时间的中心时机与测定周期的中心时机一致。

本发明的一方面的系统包括：根据所述任一项所述的、至少一个光学式位移传感器；以及控制设备，产生时间同步信号。

优选的是，至少一个光学式位移传感器包含第1光学式位移传感器与第2光学式位移传感器。第1光学式位移传感器的投光部及受光部是夹着计测对象物而与第2光学式位移传感器的投光部及受光部相向配置。第1光学式位移传感器及第2光学式位移传感器各自的处理部使曝光时间的中心时机与位移量的测定周期的中心时机一致。

[发明的效果]

根据本发明，可提供一种能够根据用户的用途来设定最佳曝光时机的光学式位移传感器以及系统。

附图说明