[发明专利]一种绒面透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种绒面透明导电薄膜，其特征在于，以石英玻璃为基底，在基底上依次沉积有Pt层、TiO₂薄膜层及FTO薄膜层，形成的FTO/TiO₂/Pt复合薄膜作为薄膜太阳电池的前电极；

Pt层的厚度为5nm～9nm，TiO₂薄膜层的厚度为50nm～110nm，FTO薄膜层的厚度为400nm～650nm。

2.一种绒面透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤1，在不高于100℃的条件下采用磁控溅射技术，在石英玻璃衬底上沉积Pt层；

步骤2，制备喷涂液A；

步骤3，通过喷雾热解工艺将喷涂液A喷涂在Pt层上得到TiO₂薄膜层，对制备的TiO₂薄膜层进行退火处理，得到缓冲层；

步骤4，制备喷涂液B；

步骤5，通过喷雾热解工艺将喷涂液B喷涂在缓冲层上得到FTO薄膜层，然后经退火处理最终得到作为薄膜太阳电池前电极的绒面透明导电薄膜；

步骤1中磁控溅射镀Pt层的工艺条件为：磁控溅射的时间为1h～2h；磁控溅射的功率为100w～150w；磁控溅射的模式为RF溅射；真空度为8.0×10^-2Pa；氩气分压为1Pa。

3.根据权利要求2所述的一种绒面透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2中喷涂液A的制备方法为：首先，在干燥氮气气氛下，将分别钛酸四丁酯和乙酰丙酮溶于无水乙醇中，常温下搅拌2h，得混合溶液，然后密闭静置进行成胶化处理，最后得喷涂液A。

4.根据权利要求3所述的一种绒面透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2中，制备喷涂液A的原料中的钛酸四丁酯、乙酰丙酮及无水乙醇的摩尔比为：1:1～1.5:10～50。

5.根据权利要求2所述的一种绒面透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤3中喷雾热解工艺的工艺条件为：载气压力为0.1MPa～0.15MPa，超声频率为2.4MHz，功率为100W～300W，超声喷雾喷枪嘴与玻璃基板距离为3cm～10cm，喷涂时间为30s～60s，热解温度为500℃～580℃。

6.根据权利要求2所述的一种绒面透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，步骤5中喷雾热解工艺的工艺条件为：载气压力为0.1MPa～0.3MPa，超声频率为2.4MHz，功率为100W～300W，超声喷雾喷枪嘴与玻璃基板距离为3cm～10cm，喷涂时间为1min～3min，热解温度为520℃～600℃。