[发明专利]一种高精度定位带有误差补偿的超精密滤光片有效

专利信息
申请号: 201711156409.2 申请日: 2017-11-20
公开(公告)号: CN107843949B 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 贾馨;王向东;邢辉;李凌;黄阳;刘大礼;范龙飞;李斌;张庭成;郭悦;王春雨;李富强;陆玉婷;岳丽清;陈宗;陈佳夷 申请(专利权)人: 北京空间机电研究所
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 李晶尧
地址: 100076 北京市丰*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 定位 带有 误差 补偿 精密 滤光
【权利要求书】:

1.一种高精度定位带有误差补偿的超精密滤光片,其特征在于:包括B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)、P谱段带通膜区(5)、基板(6)和十字方框标识(7);其中,基板(6)为矩形板状结构;B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)均为细长条状结构;B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)水平安装在基板(6)的中部;且B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)从上至下依次排列;B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)的两端均对称设置有十字方框标识(7);

所述B1谱段的频谱范围为0.400-0.450μm;B2谱段的频谱范围为0.590-0.625μm;B3谱段的频谱范围为0.705-0.745μm;B4谱段的频谱范围为0.860-1.040μm;P谱段的频谱范围为0.45-0.90μm;

所述B1谱段带通膜区(1)的长为80-90mm,宽为3-4mm;B2谱段带通膜区(2)的长为80-90mm,宽为3-4mm;B3谱段带通膜区(3)的长为80-90mm,宽为2-3mm;B4谱段带通膜区(4)的长为80-90mm,宽为2-3mm;P谱段带通膜区(5)的80-90mm,宽为3-4mm;

B1谱段带通膜区(1)与B2谱段带通膜区(2)之间间距为4-5mm;B2谱段带通膜区(2)与B3谱段带通膜区(3)之间间距为3-4mm;B3谱段带通膜区(3)与B4谱段带通膜区(4)之间间距为3-4mm;B4谱段带通膜区(4)与P谱段带通膜区(5)之间间距为3-4mm;

十字方框标识(7)分别位于B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)长度方向的中心线上;距离B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)的两端1-2mm;十字方框标识(7)实现对B1谱段带通膜区(1)、B2谱段带通膜区(2)、B3谱段带通膜区(3)、B4谱段带通膜区(4)和P谱段带通膜区(5)安装定位;

B1谱段带通膜区(1)和P谱段带通膜区(5)的后侧面进行掩模定位误差D补偿处理;掩模定位误差D定位精度为0.02mm,相对位置精度为0.05mm;

B1谱段带通膜区(1)与B2谱段带通膜区(2)之间间隙的前端采用粘接误差C补偿处理;粘接误差C的定位精度为0.015mm,相对位置精度为0.02mm;

B1谱段带通膜区(1)与B2谱段带通膜区(2)之间间隙的后端采用切割误差B补偿处理;切割误差B的定位精度为0.01mm,相对位置精度为0.01mm;

B2谱段带通膜区(2)和B3谱段带通膜区(3)的后侧面均进行镀膜误差A补偿处理;补充镀膜误差A的定位精度为0.01mm,相对位置精度为0.01mm;

B2谱段带通膜区(2)与B3谱段带通膜区(3)之间间隙的前端采用粘接误差C补偿处理;粘接误差C的定位精度为0.015mm,相对位置精度为0.02mm;

B3谱段带通膜区(3)与B4谱段带通膜区(4)之间间隙的前端采用粘接误差C补偿处理;粘接误差C的定位精度为0.015mm,相对位置精度为0.02mm;

B4谱段带通膜区(4)与P谱段带通膜区(5)之间间隙的前端采用粘接误差C补偿处理;粘接误差C的定位精度为0.015mm,相对位置精度为0.02mm;

B4谱段带通膜区(4)与P谱段带通膜区(5)之间间隙的后端采用切割误差B补偿处理;切割误差B的定位精度为0.01mm,相对位置精度为0.01mm。

2.根据权利要求1所述的一种高精度定位带有误差补偿的超精密滤光片,其特征在于:所述B1谱段带通膜区(1)与B2谱段带通膜区(2)之间、B2谱段带通膜区(2)与B3谱段带通膜区(3)之间、B3谱段带通膜区(3)与B4谱段带通膜区(4)之间、B4谱段带通膜区(4)与P谱段带通膜区(5)之间均采用光学环氧胶进行胶粘固定连接;拉伸剪切强度≥10MPa。

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