[发明专利]一种涂胶机

说明书

本发明属于半导体制程中喷胶技术领域，特别涉及一种涂胶机。包括涂胶平台、二维运动平台、喷嘴I、吊臂、喷嘴II、盘体I及盘体II，其中二维运动平台、盘体I及盘体II均设置于涂胶平台上，吊臂设置于二维运动平台上、并且两端分别与喷嘴I和喷嘴II连接，喷嘴I和喷嘴II分别与盘体I和盘体II相对应。本发明通过吊臂连接两个喷嘴，两个喷嘴分别对应两个盘体，当两盘体均被放置晶圆后即可开始作业，满足同时喷涂两片晶圆的需要，提高产能。

技术领域

本发明属于半导体制程中喷胶技术领域，特别涉及一种涂胶机。

背景技术

传统的涂胶机设备，其单元内基本上是一套组合电缸带动一个喷嘴对一片晶圆进行喷涂，由于每片晶圆至少喷涂完全四次，而每次至少四分钟，因此现有结构的涂胶机设备生产效率比较低。

发明内容

针对上述，本发明的目的在于提供一种涂胶机，以解决现有涂胶机生产效率比较低的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种涂胶机，包括涂胶平台、二维运动平台、喷嘴I、吊臂、喷嘴II、盘体I及盘体II，其中二维运动平台、盘体I及盘体II均设置于涂胶平台上，所述吊臂设置于所述二维运动平台上、并且两端分别与喷嘴I和喷嘴II连接，所述喷嘴I和所述喷嘴II分别与所述盘体I和所述盘体II相对应。

所述喷嘴I和所述喷嘴II之间的距离与所述盘体I和所述盘体II之间的中心距离相等。

所述二维运动平台为组合电缸，所述组合电缸包括X轴电缸和Y轴电缸，其中X轴电缸设置于所述涂胶平台上，所述Y轴电缸设置于所述X轴电缸上，所述吊臂设置于所述Y轴电缸上、并且通过所述X轴电缸和所述Y轴电缸的驱动可沿X、Y方向运动。

所述吊臂为横跨在所述Y轴电缸上的“门”型结构，所述喷嘴I和所述喷嘴II分别连接在所述吊臂的下端两侧。

所述吊臂的一侧竖直边框通过连接块与所述Y轴电缸的执行端连接。

所述连接块与所述吊臂的一侧竖直边框的连接高度可调整。

所述吊臂的一侧竖直边框上设有用于调整所述连接块高度的刻度线。

所述盘体I和盘体II位于所述二维运动平台的同侧。

所述盘体I和盘体II均为圆形结构。

本发明的优点及有益效果是：本发明提高了涂胶机的产能，在设备的同配置的条件下，通过吊臂连接两个喷嘴，两个喷嘴分别对应两个盘体，当两盘体均被放置晶圆后即可开始作业，满足同时喷涂两片晶圆的需要，提高产能。

附图说明

图1是本发明的轴测图；

图2是图1中I处放大图；

图3是本发明的俯视图。

图中：1为涂胶平台，2为组合电缸，21为X轴电缸，22为Y轴电缸，3为喷嘴I，4为吊臂，5为喷嘴II，6为盘体II，7为盘体I，8为连接块，9为刻度线。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1、图3所示，本发明提供的一种涂胶机，其特征在于，包括涂胶平台1、二维运动平台、喷嘴I3、吊臂4、喷嘴II5、盘体I7及盘体II6，其中二维运动平台、盘体I7及盘体II6均设置于涂胶平台1上，吊臂4设置于二维运动平台上、并且两端分别与喷嘴I3和喷嘴II5连接，喷嘴I3和喷嘴II5分别与盘体I7和盘体II6相对应。

进一步地，喷嘴I3和喷嘴II5之间的距离与盘体I7和盘体II6之间的中心距离相等。