[发明专利]一种多功能的曝光机基台的清洗装置在审
申请号: | 201711154256.8 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN107748483A | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 庞超群;陶薇 | 申请(专利权)人: | 张家港奇点光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙)32273 | 代理人: | 曹成俊 |
地址: | 215636 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 曝光 机基台 清洗 装置 | ||
1.一种多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,该多功能的曝光机基台的清洗装置,包括基台本体(1),安装板(2),清洗管装置(3),清扫刷装置(4),风干机装置(5),排水槽(6),排水管(7),HEPA滤网(8)和活性炭滤网(9),所述的安装板(2)焊接在基台本体(1)的右侧;所述的清洗管装置(3)安装在基台本体(1)的上部右侧;所述的清扫刷装置(4)安装在基台本体(1)的上部左侧;所述的风干机装置(5)安装在基台本体(1)的右侧;所述的排水槽(6)开设在基台本体(1)的下部;所述的排水管(7)插接在排水槽(6)的左侧;所述的清扫刷装置(4)包括滑轨(41),齿条(42),传动电机(43),齿轮(44),驱动电机(45),旋转轴(46)和清洗刷(47),所述的齿条(42)焊接在滑轨(41)的内侧下部;所述的传动电机(43)设置在滑轨(41)内;所述的齿轮(44)焊接在传动电机(43)的输出轴上;所述的驱动电机(45)螺栓安装在传动电机(43)的下部;所述的旋转轴(46)纵向安装在驱动电机(45)的输出轴上;所述的清洗刷(47)安装在旋转轴(46)的外侧。
2.如权利要求1所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的清洗管装置(3)包括储水箱(31),喷水管(32),水泵(33),抽水管(34),电磁阀门(35)和喷水头(36),所述的喷水管(32)安装在水泵(33)的左侧;所述的水泵(33)安装在储水箱(31)的上部左侧;所述的抽水管(34)设置在储水箱(31)的内部,并与水泵(33)的入水口接通;所述的电磁阀门(35)安装在喷水管(32)上;所述的喷水头(36)安装在喷水管(32)的下部。
3.如权利要求1所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的风干机装置(5)包括抽风管(51),风机固定框(52),风机本体(53),防尘网(54)和出风管(55),所述的风机固定框(52)安装在抽风管(51)的左侧;所述的风机本体(53)安装在风机固定框(52)的内部。
4.如权利要求3所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的防尘网(54)安装在风机固定框(52)的右侧。
5.如权利要求3所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的出风管(55)安装在风机固定框(52)的左侧。
6.如权利要求1所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的HEPA滤网(8)和活性炭滤网(9)分别安装在排水槽(6)与排水管(7)的连接处。
7.如权利要求2所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的储水箱(31)的前表面镶嵌有观察窗(311)。
8.如权利要求1所述的多功能的曝光机基台的清洗装置,其特征在于,所述的齿轮(44)与齿条(42)啮合。
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