[发明专利]喷淋蚀刻系统

权利要求书

1.一种喷淋蚀刻系统，包括电机(1)、蚀刻箱(2)、蚀刻液喷射装置(4)、摆动导杆机构(5)、压力表(7)、流量计(8)、塑料泵(10)、蚀刻液收集箱(12)、ORP氧化还原计(13)以及由加热棒(15)和冷却管道(16)组成的温控系统，其特征在于：蚀刻液喷射装置(4)设置在蚀刻箱(2)内并且具有由多个平面组成的呈正多边形柱体的外形，蚀刻液喷射装置(4)的两侧分别设置有一个夹板(6)，夹板(6)上具有呈正多边形分布的基板固定孔阵列，蚀刻基板(3)固定在夹板(6)的基板固定孔阵列的基板固定孔(23)上；蚀刻液从蚀刻液喷射装置(4)的多个平面垂直喷淋到由电机(1)和摆动导杆机构(5)带动的呈多边形空间分布的蚀刻基板(3)上。

2.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述的蚀刻基板(3)在蚀刻箱(2)内呈多边形与喷嘴(22)垂直分布。

3.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述基板固定孔阵列为多个，并且各基板固定孔阵列到夹板(6)中心的距离不同使得蚀刻基板(3)与蚀刻液喷射装置(4)的间距可调节。

4.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述的蚀刻液喷射装置(4)的各平面上布置有多个喷嘴(22)，喷嘴(22)为锥形或扇形。

5.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述蚀刻液喷射装置(4)由电机(1)水平控制，通过电机连接件(19)连接夹板(6)并预设运行轨迹以带动蚀刻基板(3)平动。

6.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述蚀刻液喷射装置(4)由摆动导杆机构(5)控制转动，摆动导杆机构(5)带动圆周分布的转动导杆(18)控制夹板(6)旋转使蚀刻基板(3)围绕蚀刻液喷射装置(4)作圆周运动。

7.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述温控系统由加热棒(15)、冷却管道(16)和温控仪(14)组成，加热棒(15)和冷却管道(16)控制蚀刻液的加热和冷却，以控制蚀刻液温度稳定在某一范围内。

8.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述ORP氧化还原计(13)设置在蚀刻液收集箱(12)中，可实时监控蚀刻液的氧化还原能力。

9.根据权利要求1所述的喷淋蚀刻系统，其特征在于：所述蚀刻箱(2)连接蚀刻液收集箱(12)，蚀刻液收集箱(12)连接塑料泵(10)处布置有密网，以过滤蚀刻液杂质及蚀刻后的残渣，可以防止喷淋装置受堵。