[发明专利]光谱仪和用于调整滤光器阵列的方法有效
申请号: | 201711146661.5 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN108072446B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | B·德科伊 | 申请(专利权)人: | 埃斯普罗光电股份公司 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/02 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 汪勤;吴鹏 |
地址: | 瑞士萨*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光谱仪 用于 调整 滤光 阵列 方法 | ||
1.一种用于接受光谱的光谱仪(1),包括:
-布置在光谱仪(1)的正面上的半导体芯片(2),
-半导体芯片具有传感器阵列(4、20、30),
o所述传感器阵列布置在半导体芯片(2)的背面上,
o所述传感器阵列包括至少两个传感器像素(21、22)的矩阵布置,
o其中传感器像素(21、22)被设计用于探测电磁辐射,
o其中传感器阵列(4、20、30)被设计用于背面照明,
-用于基于波长来过滤辐射的滤光器阵列(5、31),
o其中滤光器阵列(5、31)包括至少两个滤光器像素(7、23、32)的矩阵布置,
o其中每个滤光器像素(7、23、32)为了过滤形成了法布里-珀罗-干涉仪(6),
o其中滤光器阵列(5、31)朝向传感器阵列(4、20、30)的背面布置,
-用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13),具有:非易失性存储器(14),其中存储了滤光器阵列(5、31)关于传感器阵列(4、20、30)的坐标和/或滤光器阵列(5、31)关于传感器阵列(4、20、30)的坐标变换,以便借助所存储的坐标和/或坐标变换根据哪些传感器像素(21、22)由相应的滤光器像素(7、23、32)覆盖使传感器像素(21、22)对应于单个滤光器像素(7、23、32)和/或激活单个滤光器像素(7、23、32),其特征在于,用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13)被设计用于,借助存储的坐标和/或坐标变换而使分别在各个滤光器像素(7、23、32)的边缘处被覆盖的传感器像素(22)去激活,以便构成穿孔挡板(25),从而不同的滤光器像素(7、23、32)的被过滤的光不会影响同一个传感器像素(21、22)。
2.根据权利要求1所述的光谱仪(1),其特征在于,所述光谱仪(1)用于在250nm至1150nm的波长范围内接受光谱。
3.根据权利要求1或2所述的光谱仪(1),其特征在于,滤光器阵列(5、31)布置在传感器阵列(4、20、30)的背面上。
4.根据权利要求1或2所述的光谱仪(1),其特征在于,所述滤光器阵列(5、31)安装在透明的载体(8)上,其中透明的载体(8)布置在传感器阵列(4、20、30)的背面上。
5.根据权利要求4所述的光谱仪(1),其特征在于,透明的载体(8)设计成板材。
6.根据权利要求5所述的光谱仪(1),其特征在于,透明的载体(8)设计成玻璃板。
7.根据权利要求1或2所述的光谱仪(1),其特征在于,用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13)被设计用于,借助存储的坐标和/或坐标变换激活至少一个传感器像素(21),所述至少一个传感器像素由相应的滤光器像素(7、23、32)覆盖。
8.根据权利要求1所述的光谱仪(1),其特征在于,用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13)包括电子电路(3),该电子电路被设计用于,借助存储的坐标和/或坐标变换使分别在各个滤光器像素(7、23、32)的边缘处被覆盖的传感器像素(21、22)去激活,以便构成穿孔挡板(25),从而不同的滤光器像素(7、23、32)的被过滤的光不会影响同一个传感器像素(21、22)。
9.根据权利要求8所述的光谱仪(1),其特征在于,电子电路(3)被设计用于,由去激活的传感器像素(22)形成具有边缘(24)的穿孔挡板(25),穿孔挡板的宽度小于位于相应的滤光器像素(7、23、32)之下的区域在未去激活的传感器像素(22)上的宽度和/或直径。
10.根据权利要求9所述的光谱仪(1),其特征在于,去激活的传感器像素(22)的边缘具有传感器像素(21、22)的宽度。
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