[发明专利]石墨烯薄膜在转移中的化学除杂方法及其设备

权利要求书

1.一种用于石墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，包括：传动装置、化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，所述传动装置贯穿于化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段，从传动装置的行走方向的上游到下游依次为化学腐蚀段、水洗段、减水段、及烘干段；

所述化学腐蚀段包括药水槽、药水喷淋部和第一过滤循环系统，所述传送装置驱动生长有石墨烯的基底穿过药水喷淋部；其中，

所述药水喷淋部包括药水管及设置在药水管上的若干喷嘴；

所述第一过滤循环系统包括药水过滤装置、第一循环泵、补药器和第一循环管路，所述药水过滤装置与药水槽相通，所述第一循环管路的一端连接药水喷淋部的药水管，另一端连接过滤装置；

所述药水过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器，所述第一过滤器用于过滤药水槽中流出的药水，所述第二过滤器用于过滤经过第一过滤器过滤后的药水，所述第三过滤器用于过滤经过第二过滤器过滤的药水，所述第一循环泵设置于第二过滤器与第三过滤器之间，所述第一循环管路连通第三过滤器和药水管；

所述化学腐蚀段还包第一主槽，所述第一主槽位于药水槽的下方；所述第一过滤器设置于药水槽和第一主槽之间；所述第二过滤器设置于第一主槽内，将第一主槽分隔成第一槽室和第二槽室；所述第三过滤器设置于第一主槽外部，所述第一循环泵一端与第二槽室连通，一端与第三过滤器连通；所述补药器向第二槽室底部输送药水；所述第一槽室的侧壁上开设有第一溢流口，所述第二过滤器坚直的固定于第一主槽底部，所述第一溢流口的高度略低于第二过滤器上端。

2.根据权利要求1所述的用于石墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述药水喷淋部上的喷嘴采用分布于传送装置的上、下两排。

3.根据权利要求2所述的用于石墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述喷嘴呈雁行排布。

4.根据权利要求1所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述化学腐蚀段还包括温控系统，所述温控系统包括加热棒和散热管置与药水槽内，用于控制药水槽中药水的温度。

5.根据权利要1所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述水洗段包括水洗槽、水洗喷淋部和过滤循环系统，所述传送装置驱动经药水刻蚀后得到的石墨烯/含胶膜穿过水洗喷淋部，其中，

所述水洗喷淋部包括水管及设置在水管上的若干喷嘴；

所述过滤循环系统包括过滤装置、第二循环泵和第二循环管路，所述过滤装置与水洗槽相通，所述第二循环管路的一端连接喷淋部的水管，另一端连接过滤装置，所述第二循环泵设置于水洗槽和过滤装置之间。

6.根据权利要1所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述水洗段还包括第二主槽和补水器，所述第二主槽设置于水洗槽的下方且与水洗槽相通，所述过滤装置采用第四过滤器，所述第二循环泵一端第二主槽底部连通，另一端与第四过滤器连通，所述补水器通入第二主槽底部接近第二循环泵入口处，所述第二主槽远离补水器的一个侧壁上开设有第二溢流口，所述溢流口位于第二主槽的上部。

7.根据权利要6所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述水洗槽的出液口靠近第二溢流口。

8.根据权利要求5所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述水洗喷淋部上的喷嘴采用分布于传送装置的上、下两排。

9.根据权利要求8所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述喷嘴呈雁行排布。

10.根据权利要求1所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述减水段包括挡水滚轮和海绵滚轮，挡水滚轮位于上游，海绵滚轮位于下游。

11.根据权利要求1所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述传送装置采用并排的滚轮。

12.根据权利要求11所述的用于石 墨烯薄膜在转移中的连续除杂设备，其特征在于，所述传送装置水平方向相邻两滚轮之间的距离小于等于2mm。