[发明专利]一种稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备

说明书

本发明公开了一种稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备，首先按名义成分制备Sr0.995Al2O4∶0.005Eu2+荧光粉和陶瓷靶材，然后在0.1 Pa的工作气压、2.5 W/cm2的功率密度和923 K的基片温度下，利用射频磁控溅射技术沉积1 h，在1223 K弱还原气氛下热处理后，得到了同质缓冲层.然后在缓冲层上继续沉积，在溅射气压0.2 Pa、功率密度2.5 W/cm2以及基片温度873 K的溅射参数下，沉积3 h，最后在相同条件下退火。

技术领域

本发明涉及新材料制备技术，其中所涉及一种稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备。

背景技术

荧光粉是一种性能卓越的商用长余辉材料，具有275～420 nm连续宽带激发谱，发射峰值为520 nm，呈黄绿光，余辉时间可达20 h以上.SrAl2O4∶Eu2+，Dy3+发光材料不仅具有高效的光致发光、优异的长余辉性能、较高的量子效率和稳定的物化性能，而且拥有良好的力致发光、电致发光和压电性能.与传统的材料相比，薄膜材料以自身固有的较小晶粒尺寸和较低侧向散射而具备优异的分辨率，在对比度、热传导、释气速率、均匀性以及与基底的附着性等方面都表现出显著的优越性，因此薄膜材料具备优异的性能组合.为了满足电子信息化和自动化技术发展的需要，功能材料将进一步朝薄膜化、微型化、集成化和智能化等方向发展SrAl2O4∶Eu2+，Dy3+薄膜在长余辉夜视照明、无损实时可视化探测、机械应力传感器、纳米光电子器件、二维温度传感器以及薄膜太阳能电池等领域具有极为广阔、诱人的应用前景，要实现SrAl2O4∶Eu2+，Dy3+长余辉薄膜的应用，首要条件是制备出质量高、性能优良的长余辉薄膜，而制备方法又与薄膜的性能息息相关。

发明内容

本发明解决本发明为了解决上述问题，从而提供一种稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备。

本发明的目的在于提供一种稀土掺杂铝酸锶长余辉薄膜制备，首先按名义成分制备Sr0.995Al2O4∶0.005Eu2+荧光粉和陶瓷靶材，然后在0.1 Pa的工作气压、2.5 W/cm2的功率密度和923 K的基片温度下，利用射频磁控溅射技术沉积1 h，在1 223 K弱还原气氛下热处理后，得到了同质缓冲层.然后在缓冲层上继续沉积，在溅射气压0.2 Pa、功率密度2.5W/cm2以及基片温度873 K的溅射参数下，沉积3 h，最后在相同条件下退火。

在蓝宝石衬底上制备取向的SrAl2O4∶Eu2+薄膜，以O2和Ar混合气体作为溅射工作气体随着氧分压的提高，薄膜的Sr/Al原子比越接近靶材的比例，结晶度越高。

具体实施方式

对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

本发明首先按名义成分制备Sr0.995Al2O4∶0.005Eu2+荧光粉和陶瓷靶材，然后在0.1 Pa的工作气压、2.5 W/cm2的功率密度和923 K的基片温度下，利用射频磁控溅射技术沉积1 h，在1 223 K弱还原气氛下热处理后，得到了同质缓冲层.然后在缓冲层上继续沉积，在溅射气压0.2 Pa、功率密度2.5 W/cm2以及基片温度873 K的溅射参数下，沉积3 h，最后在相同条件下退火。

在蓝宝石衬底上制备取向的SrAl2O4∶Eu2+薄膜，以O2和Ar混合气体作为溅射工作气体随着氧分压的提高，薄膜的Sr/Al原子比越接近靶材的比例，结晶度越高。对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。