[发明专利]气体泄漏检测装置

权利要求书

1.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，包括机架，所述机架上设置有第一腔体，所述第一腔体内设置有第二腔体和密封件，所述第二腔体用于放置待检测件，所述密封件密封所述第二腔体，所述第二腔体可打开地设置在所述第一腔体内，

所述第一腔体内还设置有气体分析仪和阀体组件，所述气体分析仪用于分析所述待检测件泄漏的气体成分，所述气体泄漏检测装置设置有第一气体回路和第二气体回路，所述第一气体回路用于吸取所述第二腔体内的空气使所述第二腔体达到真空状态，所述第二气体回路用于导出所述第二腔体内泄漏的气体，所述阀体组件用于控制所述第一气体回路工作或所述第二气体回路工作。

2.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，包括压紧气缸，所述压紧气缸驱动所述密封件在竖直方向上移动。

3.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述第二腔体内设置有载台，所述载台上开设有凹槽，所述凹槽用于放置所述待检测件。

4.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述第二腔体呈抽屉状，可抽拉式地设置在所述第一腔体内。

5.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述第二腔体中设置有光栅，所述光栅用于检测所述第二腔体内是否有异物。

6.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述气体分析仪内设置有多个传感器，所述传感器用于检测所述第二腔体内的气体成分。

7.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述阀体组件包括第一高真空阀、第二高真空阀、第一气控阀和第二气控阀，所述第一高真空阀设置在所述第一气体回路和所述第二气体回路中，所述第一气控阀设置在所述第二气体回路中，所述第二气控阀和所述第二高真空阀设置在所述第一气体回路中。

8.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述第一气体回路中还设置有流量控制器，所述流量控制器用于检测所述第一气体回路从所述第二腔体中抽取的气体流量。

9.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述第二气体回路中还设置有气体清洁装置。

10.根据权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述气体清洁装置包括油雾过滤器和活性炭过滤器。