[发明专利]一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构

说明书

[技术领域]

本发明涉及研磨机或抛光机，尤其涉及一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构。

[背景技术]

双面研磨/抛光机非常适用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光学及半导体材料的加工领域得到了广泛应用。

申请号为CN201510181010.4的发明申请公开了一种行星齿轮式双面研磨/ 抛光机，太阳轮固定在太阳轮驱动轴的上端，太阳轮驱动轴的中部由安装座支承，太阳轮升降机构包括第一螺套、第二螺套、托板和复数根拉杆；第一螺套松套在安装座外面，由安装座支承，第二螺套的内螺纹与第一螺套的外螺纹旋合，第一螺套由升降驱动机构驱动；安装座的下部包括复数个拉杆孔，拉杆的上端固定在第二螺套上，拉杆的下端穿过拉杆孔，固定在托板上，托板安装在太阳轮驱动轴的下部。

该发明涉及的行星齿轮式双面研磨/抛光机因下盘没设计水冷结构，磨盘与工件长时间在加工过程中的接触，而造成磨盘与磨液发热，磨液蒸发快，容易产生对产品表面的损伤。而研磨抛光使用的磨液对温度有一定的使用要求，过高的温度会使磨液中的水份过快的蒸发掉，导致磨液容易结晶，从而使磨液的损耗量增加，另外设备上使用的冶具有些是使用胶水粘合的，过高的温度会使冶具脱胶，从而降低了冶具的使用寿命。

另外，虽然内齿圈的高度可以通过螺套来进行调整，但是用螺套来调整内齿圈高度很缓慢,内齿圈不能快速升降，不便于快速装卸工件。

[发明内容]

本发明要解决的技术问题是提供一种产品加工质量高、磨液的损耗量小的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构。

本发明进一步要解决的技术问题是提供一种便于内齿圈的快速升降的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘、中心回转接头和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端；中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，安装座包括两条轴向水道，轴向水道包括两个上部水口和两个下部水口，轴向水道的上部水口位于安装座的上部，与固定环的水口连通，轴向水道的下部水口分别进水和出水。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔；弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面；导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括与压簧数量相同的调压螺钉和调压垫，调压垫布置在压簧顶面与弹簧座孔底面之间，弹簧座孔底部包括螺纹通孔，调压螺钉由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉的前端顶在调压垫上。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，固定环的顶部包括两道环槽，回转环的底部包括两个水孔，两个水孔分别与两道环槽径向相对；固定环的两道环槽分别与固定环的两个水口连通，回转环底部的两个水孔分别与回转环的两个水口连通；固定环的顶面和回转环的底面各包括聚四氟乙烯层。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，下研磨盘包括水冷盘和磨盘，水冷盘与磨盘连接；水冷盘的顶部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的顶面与磨盘的底面之间通过密封胶密封；水冷盘的底部包括两个水口，水冷盘的两个水口与冷却水道连通，水冷盘的两个水口分别通过软管与回转环的两个水口连通。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括内齿圈升降机构，内齿圈升降机构包括端面凸轮、升降套、凸轮驱动机构和齿圈支架；端面凸轮松套在安装座的下部，底面由安装座的底座支承；升降套松套在安装座的中部，内齿圈固定在齿圈支架上，齿圈支架安装在升降套上；凸轮驱动机构安装在机架上，驱动端面凸轮转动，升降套由端面凸轮顶部的工作面驱动。