[发明专利]氮化物半导体结构及半导体发光元件在审
申请号: | 201711125219.4 | 申请日: | 2013-01-25 |
公开(公告)号: | CN107819059A | 公开(公告)日: | 2018-03-20 |
发明(设计)人: | 王信介;李玉柱;吴俊德;林京亮;李允立 | 申请(专利权)人: | 新世纪光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/32 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 罗英,臧建明 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氮化物 半导体 结构 发光 元件 | ||
1.一种氮化物半导体结构,其特征在于,包括:
一P型半导体层;
一N型半导体层;
一发光层,位于所述P型半导体层与所述N型半导体层之间;以及
一P型氮化镓系载子活性层,位于所述P型半导体层与所述发光层之间,所述P型氮化镓系载子活性层的材质包括铝与铟至少一者,且所述P型氮化镓系载子活性层掺杂有碳以及镁,其中所述碳的掺杂浓度为5×1016~5×1018cm-3。
2.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述镁掺质的掺杂浓度大于1018cm-3。
3.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其特征在于,还包括一载子阻隔层,位于所述N型半导体层与所述发光层之间。
4.如权利要求3所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述载子阻隔层的能隙高于所述发光层的能隙。
5.如权利要求3所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述载子阻隔层的材质包括N型氮化铝镓。
6.如权利要求1所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述发光层具有多重量子井结构,所述多重量子井结构包含复数个彼此交替堆叠的井层及阻障层,所述P型氮化镓系载子活性层紧邻于所述多重量子井结构,且所述P型氮化镓系载子活性层的能隙大于所述阻障层的能隙。
7.如权利要求6所述的氮化物半导体结构,其特征在于,还包括一载子阻隔层,所述载子阻隔层位于所述N型半导体层与所述发光层之间,其中所述载子阻隔层的材质包括N型氮化铝镓。
8.一种氮化物半导体结构,其特征在于,包括:
一P型半导体层,包含有一碳富集层,其中所述碳富集层材质包括Al-In-Ga-N且掺杂有镁掺质及碳掺质;
一N型半导体层;以及
一发光层,位于所述P型半导体层与所述N型半导体层之间,且所述碳富集层位在所述P型半导体层的邻近于所述发光层的一侧。
9.如权利要求8所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述发光层具有多重量子井结构,所述多重量子井结构包含复数个彼此交替堆叠的井层及阻障层,所述碳富集层紧邻于所述多重量子井结构,且所述碳富集层的能隙大于所述阻障层的能隙。
10.如权利要求9所述的氮化物半导体结构,其特征在于,所述碳富集层的能隙大于所述阻障层的能隙1%~15%。
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