[发明专利]一种低价态氧化钽光学镀膜材料及制备方法在审
申请号: | 201711124575.4 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN107892571A | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 秦海波 | 申请(专利权)人: | 北京富兴凯永兴光电技术有限公司 |
主分类号: | C04B35/495 | 分类号: | C04B35/495;C04B35/622 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所11255 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 102629 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低价 氧化 光学 镀膜 材料 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种低价态氧化钽光学镀膜材料及制备方法,属于光学镀膜材料技术领域。
背景技术
在光学镀膜领域,五氧化二钽是常用的一种镀膜材料,由于其折射率稳定,在光通讯镀膜领域,高折射率材料通常用真空烧结的五氧化二钽。但真空烧结的五氧化二钽,一个致命的特征是材料处于亚稳定状态。在潮湿空气中,烧结后的黑色五氧化二钽会慢慢氧化变成灰白色,这导致材料在使用过程中出现喷溅。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供一种低价态氧化钽光学镀膜材料及制备方法。
一种低价态氧化钽光学镀膜材料,由五氧化二钽和金属钽粉烧结而成。
五氧化二钽和金属钽粉的摩尔百分比在1:0.3~1:3之间,在真空条件下烧结而成,烧结温度为在1350℃~1750℃之间,可以形成TaO2、Ta2O3、TaO等几种低态氧化钽。
低价态氧化钽光学镀膜材料可以是不同尺寸颗粒,也可以是不同尺寸的片。
光学镀膜材料用于生产光学元件。
一种低价态氧化钽光学镀膜材料制备方法,含有以下步骤;
按五氧化二钽与金属钽粉的质量比1:0.3~1:3的比例进行配料、混合、造粒或压片、真空状态下烧结,烧结温度为1350℃~1750℃,形成导电性良好的低价态氧化钽。
本发明的优点是在五氧化二钽中加入一定量金属钽粉,经成型造粒或压片,真空烧结,形成低价态的稳定氧化钽,可在大气中长期存放,不会发生价态的变化,这样就解决了真空烧结五氧化二钽在大气中不稳定的问题。
具体实施方式
显然,本领域技术人员基于本发明的宗旨所做的许多修改和变化属于本发明的保护范围。
本技术领域技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。
为便于对实施例的理解,下面将结合做进一步的解释说明,且各个实施例并不构成对本发明的限定。
实施例1:
一种低价态氧化钽光学镀膜材料及制备方法,在五氧化二钽中加入一定量金属钽粉,经成型造粒或压片,真空烧结,形成低价态的稳定氧化钽,可在大气中长期存放,不会发生价态的变化,这样就解决了真空烧结五氧化二钽在大气中不稳定的问题。
针对真空处理的五氧化二钽在空气中不稳定的特性,采用五氧化二钽和金属钽粉的混合,成型烧结,形成低价态氧化钽,
低价态氧化钽的质量比为:
五氧化二钽和金属钽粉的摩尔百分比在1:0.3~1:3。
原理如下:
Ta2O5+Ta(真空高温)→Ta2Ox,
通过调整Ta2O5和Ta粉的比例,可以形成稳定的不同低价态的氧化钽,例如如下反应:
2Ta2O5+Ta=5TaO2,
3Ta2O5+4Ta=5Ta2O3,
Ta2O5+3Ta=5TaO,
一种低价态氧化钽光学镀膜材料制备方法,含有以下步骤;
按五氧化二钽与金属钽粉的质量比1:0.3~1:3的比例进行配料、混合、造粒或压片、真空状态下烧结,烧结温度为1350℃~1750℃,形成导电性良好的低价态氧化钽。
实施例2:
一种低价态氧化钽光学镀膜材料制备方法,含有以下步骤;
按五氧化二钽与金属钽粉的质量比2∶1的比例进行配料、混合、造粒或压片、真空状态下烧结,烧结温度为1350℃~1750℃,形成导电性良好的低价态氧化钽。
实施例3:
一种低价态氧化钽光学镀膜材料制备方法,含有以下步骤;
按五氧化二钽与金属钽粉的质量比3∶1的比例进行配料、混合、造粒或压片、真空状态下烧结,烧结温度为1350℃~1750℃,形成导电性良好的低价态氧化钽。
实施例4:
一种低价态氧化钽光学镀膜材料制备方法,含有以下步骤;
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