[发明专利]一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法及装置

权利要求书

1.一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法，其特征在于：包括以下步骤：

a、构建活钝交替抛光加工系统：构建活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元，将活性电解液电解单元和钝性电解液电解单元布置在回转体工件的外围，以便向工件喷射活性电解液和钝性电解液，并在每个活性电解液电解单元与钝性电解液电解单元之间设置机械光整机构；

b、转动工件，进行抛光加工，该抛光加工包括以下分步骤：

b-1、工件与钝性电解液电解单元中的钝性电解液接触，在钝性电解液的作用下生成钝化层，对工件表面进行保护，使工件表面低凹部分的溶解得到抑制；

b-2、由机械光整机构将工件表面高凸部分的钝化层刮除，露出新的表面；

b-3、新的表面与活性电解液电解单元中的活性电解液接触，在电化学溶解的作用下溶解蚀除；

b-4、重复进行上述步骤b-1至b-3，直至工件表面达到加工要求。

2.根据权利要求1所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法，其特征在于：所述的活性电解液和钝性电解液均为一种组分或者多种组分组合。

3.根据权利要求1所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法，其特征在于：每个电解单元设有独立的电解液循环系统，用以控制电解液进行循环流动工作，并控制电解液的流速。

4.根据权利要求3所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工方法，其特征在于：每个电解单元还独立设置有电解液浓度、温度控制系统，以实现对电解液浓度和温度参数的控制。

5.一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工装置，包括电源(1)、工件(2)和阴极工件，所述的工件(2)与电源(1)的正极连接，所述的阴极工件与电源(1)的负极连接，其特征在于：还包括机械光整机构和多个用于为工件(2)提供电解液的电解单元，所述的电解单元包括用于加速溶解蚀除工件(2)表层的活性电解液电解单元(4)和用于生成钝化膜从而保护工件(2)的钝性电解液电解单元(5)，所述的机械光整机构包括由弹性接触辅助装置驱动的磨头(3)，用以与工件(2)产生相对接触摩擦从而刮除工件(2)表面高凸部分的钝化层。

6.根据权利要求5所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工装置，其特征在于：每个所述的电解单元均设有独立的电解液循环与参数控制系统，用以控制电解液进行循环流动工作，并控制电解液的流速。

7.根据权利要求6所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工装置，其特征在于：每个所述的电解单元还独立设置有电解液浓度、温度控制系统，用以控制电解液浓度和温度参数。

8.根据权利要求5所述的一种回转体活钝交替电化学机械高效抛光加工装置，其特征在于：所述的活性电解液电解单元(4)和钝性电解液电解单元(5)相间分布在工件(2)的外围，所述的机械光整机构设于每个活性电解液电解单元(4)和钝性电解液电解单元(5)之间。