[发明专利]高输出稳定性的压阻式三轴加速度计在审
| 申请号： | 201711113324.6 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107727885A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;宋金龙;何常德;薛晨阳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/18 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人： | 朱源,武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输出 稳定性 压阻式三轴 加速度计 | ||
【权利要求书】：
1.一种高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片（1），所述SOI基片（1）由中部敏感质量块（4）、八个矩形梁（5）和回形边框（6）组成，所述敏感质量块（4）每边通过两个平行的矩形梁（5）与回形边框（6）连接；每个矩形梁（5）上在靠近中心质量块（4）和回形边框（6）的一端各有一个压敏电阻（7），每个压敏电阻（7）通过金属引线（10）与位于回形边框（6）上的焊盘（3）电气连接；
所述SOI基片（1）的器件层与玻璃片（2）键合，SOI基片（1）的衬底层与玻璃片（2）键合；
其特征在于：每个压敏电阻（7）的四周区域离子注入磷元素形成相互连接的N+重掺杂区域（9）后通过金属引线（10）与位于回形边框（6）上的焊盘（3）电气连接；加速度计工作时N+重掺杂区域（9）接入不低于惠斯通电桥供电电压的电势。
2.根据权利要求1所述的高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，其特征在于：敏感质量块（4）的结构尺寸为3200μm×3200μm×380μm；回形边框（6）的宽度为1000μm、厚度为395μm；矩形梁（5）的结构尺寸为700μm×200μm×15μm；每个矩形梁（5）上的两端各分布一个长度为96μm、宽度为8μm的压敏电阻（7）。
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