[发明专利]一种纳米多层膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711104256.7 申请日: 2017-11-10
公开(公告)号: CN107841716B 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 周灵平;谢添乐;符立才;杨武霖;朱家俊;李德意 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/14;C23C14/16
代理公司: 43113 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人: 马强;蒋尊龙<国际申请>=<国际公布>=
地址: 410082湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 纳米 多层 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种纳米多层膜的制备方法,采用磁控溅射技术,磁控溅射仪内设有样品台和溅射靶,其特征在于,至少两个溅射靶同时向同一样品台共同溅射沉积,其中,至少一个溅射靶的靶材为扩散元素,至少一个溅射靶的靶材为扩散阻挡元素或扩散阻挡化合物;当共同溅射沉积时,样品台自转;

将衬底置于离样品台中心不同距离的位置进行沉积,以调节纳米多层膜中相同成分的膜之间的间距;

溅射靶A和溅射靶B对称分布于样品台的两侧,调整两靶的角度与距离使两靶共聚焦于样品台的中心。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,溅射沉积时,样品台自转的速率为1-50转/分钟。

3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述扩散元素为铜、铝或银。

4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述扩散阻挡元素为钨、钼、钽或钛;所述扩散阻挡化合物为氮化钽。

5.一种权利要求1-4任一项所述的制备方法获得的纳米多层膜。

6.一种纳米多层膜,其特征在于,所述纳米多层膜为不同固溶度的固溶体交替叠层组成的纳米层状结构;所述多层膜中包括:至少一种扩散元素,至少一种扩散阻挡元素或扩散阻挡化合物;其中扩散阻挡元素或扩散阻挡化合物在多层膜中的摩尔百分含量为20-90%。

7.如权利要求6所述的纳米多层膜,其特征在于,多层膜之间的界面是浸润的。

8.如权利要求6所述的纳米多层膜,其特征在于,所述多层膜由周期性交替出现的富铜层和富钨层构成。

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