[发明专利]一种热膨胀系数高通量检测装置及其控制方法在审

专利信息
申请号: 201711091586.7 申请日: 2017-11-08
公开(公告)号: CN107621475A 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 向勇;税烺;张晓晴 申请(专利权)人: 北京亦庄材料基因研究院有限公司
主分类号: G01N25/16 分类号: G01N25/16
代理公司: 北京创遇知识产权代理有限公司11577 代理人: 李芙蓉,冯建基
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 热膨胀 系数 通量 检测 装置 及其 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种热膨胀系数高通量检测装置,其特征在于,所述检测装置包括激光发射器、半反射透镜、加热台以及电荷耦合器件摄像机,其中:

所述加热台上放置待测样品,所述加热台产生热量,以加热所述待测样品,并使得所述待测样品发生膨胀;

所述激光发射器发射出的光线抵达所述半反射透镜后,分别产生反射光和透射光;所述反射光反射至所述电荷耦合器件摄像机中,所述透射光在所述待测样品表面发生反射后也反射至所述电荷耦合器件摄像机中。

2.根据权利要求1所述的热膨胀系数高通量检测装置,其特征在于,所述装置还包括控制主机,所述控制主机分别与所述激光发射器、加热台以及电荷耦合器件摄像机相连,其中:

所述控制主机用于向所述激光发射器传输激光器控制信号,以控制所述激光发射器的位置和角度;

所述控制主机还用于向所述加热台发送加热控制信息,以调节所述加热台的加热温度;

所述控制主机还用于从所述电荷耦合器件摄像机处获取干涉信号。

3.根据权利要求2所述的热膨胀系数高通量检测装置,其特征在于,所述加热台中还设置有温度传感设备,所述温度传感设备用于将所述加热台当前的加热温度反馈给所述控制主机。

4.一种应用于权利要求1至3中任一项所述检测装置中的控制方法,其特征在于,所述方法包括:

激光发射器发射激光,所述激光到达半反射透镜后,生成反射光和透射光;

所述反射光传输进入电荷耦合器件摄像机,所述透射光通过放置于加热台上的待测样品的表面反射后也进入所述电荷耦合器件摄像机;其中,所述加热台通过预先设定的温度加热所述待测样品,以使得所述待测样品发生膨胀;

所述反射光与所述透射光产生的反射光在所述电荷耦合器件摄像机内发生干涉,所述电荷耦合器件摄像机记录对应的干涉条纹的位置。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

所述激光发射器接收控制主机发送来的激光器控制信号,并根据所述激光器控制信号调节当前的位置和发射激光的角度。

6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

所述加热台接收控制主机发来的加热控制信号,并将对所述待测样品加热的温度设置为所述加热控制信号指定的温度;

所述加热台将当前的加热温度反馈至所述控制主机。

7.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

所述电荷耦合器件摄像机生成包含干涉条纹位置的干涉信号,并将所述干涉信号发送至控制主机。

8.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

将所述加热台的加热温度调节为另一个温度,并在所述另一个温度下,通过所述电荷耦合器件摄像机再次记录对应的干涉条纹的位置;

将原先记录的干涉条纹的位置与再次记录的干涉条纹的位置进行对比,得到干涉条纹的位置变化值,并基于所述干涉条纹的位置变化值,计算所述待测样品的热膨胀系数。

9.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在对所述待测样品表面上的一个区域完成检测后,所述方法还包括:

调节所述激光发射器的角度,以使得所述激光发射器发射的激光通过所述半反射透镜产生的透射光照射到所述待测样品表面上的另一个区域,以检测所述另一个区域的热膨胀系数。

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