[发明专利]碲化锌靶材的制备方法

权利要求书

1.一种碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1、研磨制粉：将4.5N及以上纯度的碲化锌合金用球磨机进行研磨并用筛网过筛，得到粒径在10～200微米的粉体；

S2、预压：将上述粉体装入一石墨模具中，进行预压，成型为坯体；

S3、坯料制备：将坯体装入一包套中，然后包套进行抽真空密封，接着将包套移入一热等静压烧结炉的炉体内；将炉体抽真空至绝对真空度低于5Pa，然后以5-10℃/min的升温速度升温到400-550℃，保温1-2小时，不加压；随后以10-20℃/min的升温速度升温，并开始不断加压，当温度升高至700-850℃，压力达到30-70MPa时，开始保温保压，保温保压2-4小时后，关闭烧结炉的加热电源开始降温，等炉体温度降到600℃，逐渐缓慢泄压至常压；待炉体完全冷却至室温后，从炉体内取出包套，剥离包套得到碲化锌靶材坯料；

S4、坯料后处理：对碲化锌靶材坯料进行机械加工和电加工，然后抛光、清洗、烘干，即得到碲化锌靶材；

所述S3中，炉体抽真空的具体过程为：炉体先用一机械泵抽真空至绝对真空度小于1000Pa，然后往炉体内通入保护气体至常压，再用机械泵抽真空至绝对真空度小于1000Pa，对炉体进行洗炉，再用一真空泵抽真空至炉体的绝对真空度小于5Pa。

2.根据权利要求1所述的碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：所述S2中，预压压力为10～15MPa。

3.根据权利要求1所述的碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：所述S2中，预压后的坯体相对密度大于60％。

4.根据权利要求1所述的碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：所述的真空泵为罗茨真空泵。

5.根据权利要求1所述的碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：所述保护气体为惰性气体或氮气。

6.根据权利要求1所述的碲化锌靶材的制备方法，其特征在于：所述包套为不锈钢包套。