[发明专利]喷镀用材料和带喷镀膜的构件

权利要求书

1.一种喷镀用材料，其包含稀土元素、氧和卤素元素作为构成元素，并且包含稀土元素卤氧化物与稀土元素卤化物的混晶。

2.根据权利要求1所述的喷镀用材料，其实质上不含作为所述稀土元素的卤化物的稀土元素卤化物。

3.根据权利要求1或2所述的喷镀用材料，其实质上不含作为所述稀土元素的氧化物的稀土元素氧化物。

4.根据权利要求1或2所述的喷镀用材料，其实质上不含所述稀土元素卤氧化物。

5.根据权利要求1或2所述的喷镀用材料，其中，所述混晶中的所述稀土元素卤化物的比例为5摩尔％以上且95摩尔％以下。

6.根据权利要求1或2所述的喷镀用材料，其中，

包含钇作为所述稀土元素、

包含氟作为所述卤素元素、

包含氟氧化钇作为所述稀土元素卤氧化物、

包含氟化钇作为所述稀土元素卤化物。

7.根据权利要求1或2所述的喷镀用材料，其是平均粒径为5μm以上且60μm以下的粉体。

8.根据权利要求7所述的喷镀用材料，其中，所述粉体中的孔半径1μm以下的累积孔容积为0.1cm³/g以下。

9.一种带喷镀膜的基材，其具备：基材和所述基材表面的至少一部分所具备的由权利要求1～8中的任一项所述的喷镀用材料形成的喷镀膜，

所述喷镀膜包含稀土元素卤氧化物作为主要成分且孔隙率为7％以下，

所述稀土元素卤氧化物包含稀土元素、氧和卤素元素(X)作为构成元素。