[发明专利]超低缺陷部件处理

权利要求书

1.一种用于去除和防止衬底处理室的组件的表面上的缺陷的方法，所述方法包括：

将所述组件装载到真空室中；并且

在所述组件被装载在所述真空室内的情况下，

(i)在第一预定时间段期间在烘烤温度下烘烤所述组件以从所述组件的表面去除水和缺陷，以及

(ii)在至少一个第二预定时间段期间清扫所述真空室内的所述组件以从所述真空室中除去所述缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法，其还包括(iii)在从所述真空室移除所述组件并将所述组件安装在所述衬底处理室内之前，任选地将保护性涂层沉积到所述组件的所述表面上。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述烘烤温度为约200℃。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述组件对应于所述衬底处理室的喷头。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二预定时间段在所述第一预定时间段之后。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一预定时间段和所述第二预定时间段重叠。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，执行所述清扫持续两个或更多个所述第二预定时间段。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述两个或更多个所述第二预定时间段在所述第一预定时间段内。

9.根据权利要求2所述的方法，其中(i)和(ii)在(iii)之前重复两次或更多次。

10.一种用于在打开衬底处理室之前蒸气涂覆所述衬底处理室的组件的方法，所述方法包括：

(i)接收所述衬底处理室将被打开的指示；

(ii)响应于(i)，提供蒸气到所述衬底处理室，以将疏水性蒸气涂层施加到所述衬底处理室的所述组件和内表面；

(iii)清扫所述衬底处理室；以及

(iv)选择性地重复(ii)和(iii)。