[发明专利]晶圆预对准系统定位方法、定位装置及定位电路系统

权利要求书

1.晶圆预对准系统定位方法，其特征在于：其方法步骤为：

（1）机械手臂从储物盒中吸附晶圆片并放置于旋转台上；

（2）晶圆片旋转一周，由光学线阵CCD检测晶圆边缘信息，即晶圆边缘在固定坐标系下的位置信息，旋转台顺时针方向旋转，原点即为旋转中心，以看到切边此时正对着x轴的正方向，也就是晶圆片角度校正后切边所对的位置；

（3）计算晶圆在固定坐标系下的切边方向偏移量并旋转至指定方向；

（4）计算切边定位完成后晶圆圆心的坐标，机械手臂吸附晶圆片旋转90°，放置晶圆片到新的载物台，定位晶圆圆心到载物台中心位置，转动砂轮研磨切边；

（5）传送晶圆片到同方向上的另一载物台，定位圆心，旋转载物台，转动砂轮研磨弧边。

2.晶圆预对准系统定位装置，其特征在于：包括伺服电机和支架，所述伺服电机的上端设置有旋转台，所述旋转台放置有晶圆片，所述伺服电机的下部连接有光电编码器。

3.如权利要求2所述的晶圆预对准系统定位装置，其特征在于：所述支架的底上部设置有感光传感器，所述支架的顶下部设置有激光发射器，所述感光传感器接收激光发射器所发射出的平行光束。

4.如权利要求2所述的晶圆预对准系统定位装置，其特征在于：所述光电编码器旋转过程中能将被测轴转过的角度转化成脉冲信号，伺服电机用来控制被测轴的旋转速度，转速不变，脉冲频率不变，每个脉冲代表的角度就是确定的，通过计算脉冲个数即可求得边缘点所在角度，伺服电机控制旋转台旋转一周的过程中，产生的脉冲总数可调，可根据精度要求做调整。

5.晶圆预对准系统定位电路系统，其特征在于：包括单片机、PLC和FPGA，所述单片机通过485通讯连接PLC，所述单片机连接FPGA，所述FPGA分别连接有片外存储器、4细分和高速AD。

6.如权利要求5所述的晶圆预对准系统定位电路系统，其特征在于：所述高速AD通过运放连接模拟量信号，所述模拟量信号连接线阵CCD。

7.如权利要求5所述的晶圆预对准系统定位电路系统，其特征在于：所述4细分通过AB相正交编码信号连接光电编码器，所述光电编码器通过开关量信号连接FPGA。

8.如权利要求5所述的晶圆预对准系统定位电路系统，其特征在于：所述的定位装置采集到每个边缘点的极坐标（，），转换为直角坐标（，），即（，），若要使目标函数值最小，即使得

（3-8）

最小，其中为边缘点（，）到晶圆几何中心（X，Y）的距离；

对公式（3-8）做线性化处理，可转换为

（3-9）

取S最小值，这里需要对X，Y，R求导，取极值即：

（3-10）

（3-11）

由公式（3-11）解得晶圆几何中心坐标及半径的表达式为：

（3-12）。