[发明专利]掩膜板及掩膜组件有效
申请号: | 201711054173.1 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107768551B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 戚海平 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 | ||
本发明提供了一种掩膜板,属于显示技术领域。所述掩膜板包括:掩膜板主体,所述掩膜板主体上设置有镂空区域,所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起,n≥3。本发明解决了在焊接掩膜板与掩膜框架的过程中,掩膜板会在由焊接产生的应力的作用下发生形变,进而导致掩模板中的镂空区域也会发生形变的问题。本发明用于制造掩膜组件。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种掩膜板及掩膜组件。
背景技术
有机发光二极管(英文:Organic Light-Emitting Diode,简称:OLED)显示装置因其具有主动发光、响应速度快等诸多优点而应用越来越广泛,且通常会使用掩膜组件制造OLED显示装置。
示例的,掩膜组件通常包括:掩膜框架、掩膜板以及精细金属掩膜。其中,掩膜板的边缘与掩膜框架焊接,掩膜板上设置有镂空区域,精细金属掩膜覆盖在该镂空区域上,精细金属掩膜上形成有镂空图案。请参考图1,在制作掩膜组件时,需要将掩膜板101的边缘与掩膜框架102焊接。在焊接的过程中掩膜板上焊接的部位会产生应力F1,且在该应力F1的作用下掩膜板101会发生形变,掩膜板101中的镂空区域也会发生形变。
由于掩膜板中的镂空区域会发生形变,因此,使用该掩膜板制造的OLED显示装置会出现结构错位或显示失真等不良。
发明内容
本发明提供了一种掩膜板,可以解决相关技术中在焊接掩膜板与掩膜框架的过程中,掩膜板会在由焊接产生的应力的作用下发生形变,进而导致掩模板中的镂空区域也会发生形变的问题,所述技术方案如下:
第一方面,提供了一种掩膜板,所述掩膜板包括:掩膜板主体,所述掩膜板主体上设置有镂空区域,所述掩膜板主体的边缘向外延伸有n个凸起,n≥3。
可选的,所述掩膜板主体的边缘向外延伸有m个缓冲部,每个所述缓冲部的表面凹凸不平,m≥1。
可选的,所述掩膜板还包括:连接框,所述掩膜板主体套接在所述连接框内,且所述凸起和所述缓冲部均与所述连接框连接。
可选的,所述掩膜板主体上设置有呈矩阵状排列的多个镂空区域,任意相邻的两行镂空区域相互靠近一侧的距离为S,所述凸起的宽度方向平行于所述掩膜板主体,所述n个凸起的宽度均为W,0.5S<W<S,每个所述凸起的高度与所述连接框的宽度之差均小于预设差值阈值。
可选的,所述掩膜板主体呈矩形,且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起,所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边;所述多个镂空区域的行方向平行于所述矩形的第一边,所述多个镂空区域的列方向平行于所述矩形的第二边,所述第一边上任意相邻的两列镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起,所述第二边上任意相邻的两行镂空区域之间的位置设置有一个第二凸起。
可选的,所述m=4,所述每个顶角处的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。
可选的,所述n个凸起中任意两个相邻的凸起之间设置有一个所述缓冲部。
可选的,所述n=8,所述掩膜板主体呈矩形,且所述矩形的每个顶角处均设置有两个第一凸起,所述两个第一凸起的高度方向分别垂直于构成所述每个顶角的两条边;所述矩形的每条边上均等间距排布有多个所述缓冲部,且每个所述缓冲部对应两行镂空区域或两列镂空区域。
可选的,所述每个顶角处设置的两个第一凸起之间设置有一个所述缓冲部。
第二方面,提供了一种掩膜组件,所述掩膜组件包括:第一方面所述的掩膜板。
本发明提供的技术方案带来的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择