[发明专利]TFT玻璃表面处理液及TFT玻璃表面处理方法有效
申请号: | 201711048510.6 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107721187B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 易伟华;吴兴泽;孙骏超;何智斌 | 申请(专利权)人: | 江西沃格光电股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 生启 |
地址: | 338004 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft 玻璃 表面 处理 方法 | ||
本发明涉及一种TFT玻璃表面处理液及TFT玻璃表面处理方法。一种TFT玻璃表面处理液溶剂包括水,溶质包括强碱、阴离子表面活性剂及助剂;强碱选自氢氧化钠和氢氧化钾中的至少一种,强碱的质量百分含量为5%~15%;阴离子表面活性剂选自十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、脂肪醇醚硫酸钠和脂肪酸甲酯乙氧基化物磺酸盐中的至少一种,阴离子表面活性剂的质量百分含量为0.5%~5%;助剂选自硅酸钠、三聚磷酸钠和乙二胺四乙酸二钠中的至少一种,助剂的质量百分含量为0.1%~1%。上述TFT玻璃表面处理液及TFT玻璃表面处理方法,能够提高其表面清水性能,利用强碱对TFT玻璃表面的腐蚀作用生成表面微孔结构,可不经过机械抛光处理而进行镀膜,避免了玻璃破裂片率及碎亮点发生率高的问题。
技术领域
本发明涉及TFT玻璃镀膜技术领域,特别是涉及TFT玻璃表面处理液及TFT玻璃表面处理方法。
背景技术
由于氧化铟锡抗酸腐蚀性能差,膜层附着力低,传统TFT玻璃进行ITO镀膜前必须对玻璃表面进行机械抛光处理,以去除玻璃表面的疏水层及其它酸性物质,提高膜层的附着力。随着行业的发展,TFT显示屏越来越朝着超薄和高清方向发展,目前已开发到双面0.2mm厚度,机械抛光带来的破裂片和碎亮点风险也越来越高。随着液晶TFT行业超薄和超清的发展趋势,较低的破裂片率和碎亮点发生率成为各家薄化厂的核心竞争力,机械抛光处理已不能满足TFT显示屏的要求,开发出一种减薄TFT玻璃的表面处理方法已成为当务之急。
发明内容
基于此,有必要针对机械抛光易造成TFT玻璃破裂片率及碎亮点发生率高的问题,提供一种TFT玻璃表面处理液及TFT玻璃表面处理方法。
一种TFT玻璃表面处理液,包括溶剂及溶质,所述溶剂包括水,所述溶质包括强碱、阴离子表面活性剂及助剂;
其中,所述强碱选自氢氧化钠和氢氧化钾中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述强碱的质量百分含量为5%~15%;
所述阴离子表面活性剂选自十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、脂肪醇醚硫酸钠和脂肪酸甲酯乙氧基化物磺酸盐中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述阴离子表面活性剂的质量百分含量为0.5%~5%;
所述助剂选自硅酸钠、三聚磷酸钠和乙二胺四乙酸二钠中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述助剂的质量百分含量为0.1%~1%。
在其中一个实施方式中,所述TFT玻璃表面处理液中所述强碱的质量百分含量为8%~12%。
在其中一个实施方式中,所述TFT玻璃表面处理液中所述阴离子表面活性剂的质量百分含量为3%~5%。
在其中一个实施方式中,所述TFT玻璃表面处理液中所述助剂的质量百分含量为0.5%~0.8%。
一种TFT玻璃的表面处理方法,包括以下步骤:
采用TFT玻璃表面处理液对TFT玻璃进行表面处理;及
对所述TFT玻璃进行水洗并干燥;
其中,所述TFT玻璃表面处理液包括溶剂及溶质,所述溶剂包括水,所述溶质包括强碱、阴离子表面活性剂及助剂;
所述强碱选自氢氧化钠和氢氧化钾中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述强碱的质量百分含量为5%~15%;
所述阴离子表面活性剂选自十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、脂肪醇醚硫酸钠和脂肪酸甲酯乙氧基化物磺酸盐中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述阴离子表面活性剂的质量百分含量为0.5%~5%;
所述助剂选自硅酸钠、三聚磷酸钠和乙二胺四乙酸二钠中的至少一种,所述TFT玻璃表面处理液中所述助剂的质量百分含量为0.1%~1%。
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