[发明专利]掩膜板及其制作方法、蒸镀方法

说明书

本发明提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。相应地，本发明还提供一种掩膜板的制作方法和蒸镀方法。本发明能够提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。

技术领域

本发明涉及显示装置的制作领域，具体涉及一种掩膜板及其制作方法、蒸镀方法。

背景技术

喷墨打印技术(Inkjet Printing，IJT)是有机电致发光显示基板的制作过程中常用技术，利用喷墨打印在显示区形成整层结构(如，阴极层)时，通常会使用开放式的掩膜板(Open Mask)，该掩膜板上设置有多个蒸镀开口。在蒸镀时，可以利用蒸镀源和所述开放式掩膜板对具有多个显示区的基板进行蒸镀，掩膜板上的每个蒸镀开口对应于基板上的一个显示区。因此，掩膜板的制作精度和对位精度直接影响着显示产品的质量。

目前，通常采用在掩膜板上设置对位孔、在基板上设置对位标记的方式，将掩膜板与基板进行对位。但由于掩膜板的厚度较大，因此，受到工艺条件的限制，掩膜板上制作的对位孔的精度较低，且难以制作出尺寸较小的对位孔，从而影响对位精度，进而影响蒸镀效果。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种掩膜板及其制作方法、蒸镀方法，提高蒸镀时掩膜板的对位精度，从而改善蒸镀效果。

为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有掩膜图形，所述掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设置有凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域，所述凹槽底部设置有贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。

优选地，所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的掩膜条，所述掩膜条的厚度小于位于所述凹槽以外的掩膜板本体的厚度，所述掩膜条上设置有与所述凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔，所述第一通孔朝向所述掩膜条的投影区域完全覆盖所述第二通孔所在区域。

优选地，所述掩膜条的背离所述第一通孔的表面低于或平齐于所述掩膜板本体的第一表面。

优选地，所述凹槽与所述掩膜条一一对应，且所述凹槽的延伸方向与所述掩膜条的延伸方向相同，所述凹槽底部设置有多个所述第一通孔。

优选地，所述掩膜板本体的厚度在270μm～330μm之间；所述掩膜条的厚度在30μm～50μm之间；所述第二通孔的开口尺寸在95μm～105μm之间。

优选地，所述掩膜板还包括安装框架，所述掩膜板本体固定在所述安装框架上。

相应地，本发明还提供一种掩膜板的制作方法，包括：

提供掩膜板本体，该掩膜板本体包括相对的第一表面和第二表面；

在所述掩膜板本体上形成掩膜图形；

在所述掩膜板本体的第一表面上形成凹槽，所述凹槽位于所述掩膜图形以外的区域；

在凹槽底部形成贯穿所述掩膜板本体的第一通孔。

优选地，所述制作方法还包括：

提供安装框架和与所述凹槽一一对应的掩膜条；

在所述掩膜条上形成与相应凹槽底部的第一通孔一一对应的第二通孔；

将所述掩膜板本体固定在所述安装框架上；

将所述掩膜条固定设置在相应的凹槽中，使得所述掩膜条上的第二通孔的位置与相应凹槽底部的第一通孔的位置一一对应。

相应地，本发明还提供一种蒸镀方法，包括：