[发明专利]微镜结构及微镜阵列芯片

权利要求书

1.一种微镜结构，其特征在于，包括：外框、内框、镜片、一对第一铰链、一对第二铰链、第一驱动模组和第二驱动模组；所述一对第一铰链分别位于所述镜片的相对的两端，所述一对第一铰链均连接在所述镜片和所述内框的内壁之间，所述一对第一铰链的连线形成第一转轴；所述一对第二铰链分别位于所述内框的相对的两端，所述一对第二铰链均连接在所述内框的外壁和所述外框的内壁之间，所述一对第二铰链的连线形成第二转轴，所述第一转轴垂直于所述第二转轴；所述第一驱动模组连接至所述内框，用于驱动内框连同所述镜片以所述第二转轴为中心转动；所述第二驱动模组连接至所述镜片，用于驱动所述镜片以所述第一转轴为中心转动。

2.如权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，沿着所述第一转轴的方向，所述一对第一铰链在所述镜片和所述内框之间实现刚性连接。

3.如权利要求2所述的微镜结构，其特征在于，沿着所述第二转轴的方向，所述一对第二铰链在所述内框和所述外框之间实现刚性连接。

4.如权利要求1所述的微镜结构，其特征在于，所述第一驱动模组包括第一热电驱动臂，所述第一热电驱动臂连接在所述外框和所述内框之间，所述第一热电驱动臂与所述内框的连接端为第一连接端，所述第一连接端的中心位于所述第一转轴上。

5.如权利要求4所述的微镜结构，其特征在于，所述第一连接端的数量为一个，所述第一连接端位于所述第一转轴上。

6.如权利要求4所述的微镜结构，其特征在于，所述第一连接端的数量为至少两个，所述至少两个第一连接端以所述第一转轴为中心对称分布，以使所述第一连接端的中心位于所述第一转轴上。

7.如权利要求4所述的微镜结构，其特征在于，所述第一驱动模组还包括第一电极，所述第一电极设于所述外框，所述第一电极与所述第一热电驱动臂电连接。

8.如权利要求7所述的微镜结构，其特征在于，所述第一热电驱动臂还包括第一电极端和第一弹性臂，所述第一电极端与所述第一电极电连接，所述第一弹性臂连接在所述第一电极端和所述第一连接端之间，所述第一电极端的中心位于所述第一转轴的延伸线上。

9.如权利要求4-8任意一项所述的微镜结构，其特征在于，所述第二驱动模组包括第二热电驱动臂，所述第二热电驱动臂连接在所述内框和所述镜片之间，所述第二热电驱动臂与所述内框的连接端为第二电极端，所述第二电极端的中心位于所述第二转轴的延伸线上。

10.如权利要求9所述的微镜结构，其特征在于，所述第二驱动模组还包括第二电极，所述第二电极设于所述外框，所述第二电极与所述第二电极端电连接。

11.如权利要求10所述的微镜结构，其特征在于，所述第二电极和所述第二电极端之间通过引线电连接，所述引线从所述外框延伸至其中一个所述第二铰链，且沿着所述第二铰链延伸至所述第二电极端。

12.如权利要求8所述的微镜结构，其特征在于，所述第二热电驱动臂与所述镜片之间的连接端为第二连接端，所述第二连接端的中心位于所述第二转轴上。

13.如权利要求12所述的微镜结构，其特征在于，所述第二连接端的数量为至少两个，所述至少两个第二连接端以所述第二转轴为中心对称分布，以使所述第二连接端的中心位于所述第二转轴上。

14.如权利要求13所述的微镜结构，其特征在于，所述第二热电驱动臂包括至少两个第二弹性臂，所有的所述第二弹性臂的一端均连接至所述第二电极端，所述至少两个第二弹性臂的另一端一一对应地连接至所述至少两个第二连接端。