[发明专利]一种磁隔板及蒸镀腔室、蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711032893.8 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107740049B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 扈自清;任星利;王国庆;康建东;孙忠强;赵镜;张磊;王斌;李国强;李晓龙;王在成 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 隔板 蒸镀腔室 装置 | ||
1.一种磁隔板，其特征在于，包括：
底板；
多组条形磁铁组，所述条形磁铁组设置在所述底板上，多个所述条形磁铁组并列设置且相互平行；
其中，所述条形磁铁组包括多个条形磁铁，多个所述条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个所述条形磁铁设置相同的极性方向，这样通过间隔设置多个极性方向相同的条形磁铁作为条形磁铁组，在每一个条形磁铁的两极之间均形成环形的磁场方向，使得一组条形磁铁组包括多个环形磁场，从而避免条形磁铁组上各个位置处磁场作用力差异较大，使得磁隔板对掩模版以及待蒸镀基板上各个位置处的吸附效果较为均衡；
在所述底板上还设置有多个并列设置且相互平行的辅助条形磁铁组，所述辅助条形磁铁组的设置方向与所述条形磁铁组的设置方向相互垂直，且所述辅助条形磁铁组设置在所述条形磁铁组中相邻两个所述条形磁铁之间；
所述辅助条形磁铁组包括多个辅助条形磁铁，多个所述辅助条形磁铁沿垂直于其长度方向间隔设置，且多个所述辅助条形磁铁设置相同的极性方向；
所述辅助条形磁铁组中相邻两个所述辅助条形磁铁之间的间隔位置位于所述条形磁铁组内。
2.根据权利要求1所述的磁隔板，其特征在于，每一组所述条形磁铁组中的条形磁铁的设置数量均相同，多组所述条形磁铁组中的条形磁铁在所述底板上呈矩阵形式设置。
3.根据权利要求1、2任一项所述的磁隔板，其特征在于，在所述磁隔板上划分有多个窗口区域，以及位于相邻两个所述窗口区域之间的支撑区域，在对应所述支撑区域的底板上还设置有加强磁铁组。
4.根据权利要求3所述的磁隔板，其特征在于，所述加强磁铁组包括在所述支撑区域内沿对应所述支撑区域的各个延伸方向分别设置的磁条。
5.根据权利要求4所述的磁隔板，其特征在于，所述底板包括多个子底板，每一个所述子底板对应于一个所述窗口区域，相邻两个所述子底板之间在对应于所述支撑区域的位置相互拼接。
6.一种蒸镀腔室，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的磁隔板。
7.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求6所述的蒸镀腔室。
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