[发明专利]大面积多级次表面褶皱结构及其制备

权利要求书

1.一种大面积多级次表面褶皱结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)：通过浇注和固化制备聚合物基底，其中聚合物本体与固化剂的质量比例为5:1-40:1，固化温度为50-90℃，在聚合物没有完全固化时即进行步骤2)的操作；

步骤2)：用磁控溅射在温度200-300℃下在步骤1)所得的聚合物基底上制备金属薄膜；

步骤3)：待步骤2)中溅射完的样品降至室温后从溅射腔中取出。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中，聚合物本体与固化剂的质量比例为8:1-12:1，聚合物本体和固化剂混合后搅拌1-10分钟，抽真空以去除搅拌过程中产生的气泡，倒入塑料容器中，对于倒入高度为0.5-3mm的混合物量，固化0.5-2小时后即进行步骤2)的操作。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中，将聚合物基底粘在基板上放入溅射腔中，先加热基板使之升温，然后通入氩气，控制溅射时的压强为4-6mTorr，溅射功率为100-200W，溅射时间为200-400s。