[发明专利]一种谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器

权利要求书

1.一种谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，包括分别设于悬臂梁(1)上表面中部及末端的两组对加速度信号敏感的振荡器，位于末端的振荡器作为参考，两组振荡器形成差动结构，两组振荡器的结构参数完全相同，输出端相连并经过混频器(8)混频，将外部加速度的变化转化为频率的变化输出；两组振荡器均包括一个声表面波延迟线和一个反馈放大器，声表面波延迟线采用具有高斯函数频响的谐振单相单向换能器，其包括输入换能器和输出换能器。

2.如权利要求1所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，两组所述振荡器中的声表面波延迟线的频响均为高斯函数的频响。

3.如权利要求1所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述悬臂梁(1)的材质采用石英晶体。

4.如权利要求1或3任意一项所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述悬臂梁(1)的两端固定，其下表面的中部加载有质量块(10)。

5.如权利要求4所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述质量块(10)为正方体结构。

6.如权利要求1所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述声表面波延迟线的两个换能器采用的加权方式为：输入换能器中的换能函数和反射函数均采用抽指加权，输出换能器为不加权宽带换能器。

7.如权利要求1所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述混频器的输出端连接一个低通滤波器(9)。

8.如权利要求1所述的谐振单相单向换能器型声表面波加速度传感器，其特征在于，所述声表面波延迟线固定于悬臂梁(1)上表面，两个声表面波延迟线的制备工艺采用半导体平面工艺。