[发明专利]含有光束监测单元的光学投影装置

权利要求书

1.一种含有光束监测单元的光学投影装置，包括发射波长为λ₁光束的第一光源以及衍射光学元件组成的投影模组，其特征在于，还包括：

第二光源，用于发射波长为λ₂的光束，波长满足λ₂λ₁或λ₂λ₁的关系以避免所述第一光源与所述第二光源所发射的光束之间发生相互干涉；

选择性透过薄膜，附于所述衍射光学元件表面，用于透射所述第一光源发射的光束以及反射和/或衍射所述第二光源发射的光束；

光束监测单元，用于接收所述选择性透过薄膜反射和/或衍射的光束，并监测其光束的变化，根据所述变化判断所述衍射光学元件的完整性；

其中，所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件入光一侧的衍射光栅表面，当所述衍射光学元件出现老化、变形、破损，所述选择性透过薄膜出现松动、变形或脱落，从而致使所述选择性透过薄膜的性能发生改变而导致所述光束的变化；或者

所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件出光一侧的光滑表面，且在所述衍射光学元件的纵向端面一侧设置有所述光束监测单元，透射进入所述衍射光学元件内的光束中，一部分光束在所述选择性透过薄膜的表面与所述衍射光学元件的衍射光栅表面之间连续发生多次反射后，通过所述衍射光学元件的纵向端面入射到所述光束监测单元的接收面内。

2.如权利要求1所述的光学投影装置，其特征在于，所述光束监测单元包括监控光电二极管或图像传感器。

3.如权利要求1所述的光学投影装置，其特征在于，所述光束的变化包括所述光束能量的变化和/或光束分布的变化。

4.如权利要求1所述的光学投影装置，其特征在于，还包括控制电路，所述控制电路与所述光束监测单元连接，并根据所述光束的变化进行安全控制。

5.如权利要求4所述的光学投影装置，其特征在于，所述安全控制包括关闭所述第一光源或者降低所述第一光源的发光功率。

6.如权利要求1所述的光学投影装置，其特征在于，当所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件入光一侧的衍射光栅表面时，所述第一光源、所述第二光源与所述光束监测单元设置在所述衍射光学元件的入光一侧，并固定在同一水平基线的不同位置上；当所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件出光一侧的光滑表面时，所述第一光源、所述第二光源设置在所述衍射光学元件的入光一侧，并固定在同一水平基线的不同位置上。

7.如权利要求1所述的光学投影装置，其特征在于，当所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件入光一侧的衍射光栅表面时，所述第一光源设置在所述衍射光学元件的入光一侧；所述第二光源设置在所述衍射光学元件的纵向端面一侧，并从端面向所述衍射光学元件发射波长为λ₂的光束；所述光束监测单元设置在与所述第一光源同一水平基线的不同位置上，和/或所述光束监测单元设置在所述衍射光学元件的纵向端面另一侧，相对于所述第二光源。

8.如权利要求6所述的光学投影装置，其特征在于，当所述选择性透过薄膜附于所述衍射光学元件出光一侧的光滑表面时，在与所述第一光源、第二光源同一水平基线的不同位置上也设置有所述光束监测单元。