[发明专利]一种光纤预制棒母棒的烧结装置及对应的烧结方法

权利要求书

1.一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：其包括真空烧结炉，所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层，所述石英中心管的顶部设置有保温层，引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内，所述引杆的下端通过连接套连接靶棒，所述靶棒用于松散体的沉积附着，所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件，所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层，所述石墨保温层的内壁和所述硅钼棒加热件间预留有间隔空腔，所述真空烧结炉的上部侧壁上预设有两根进气管，具体为第一进气管、第二进气管，所述第一进气管贯穿所述石英中心管的外壁后通入其内腔，所述第二进气管贯穿所述真空烧结炉的侧壁后连通其腔体，所述石英中心管的底部设置有外通的第一排气管，所述真空烧结炉设置有外通的第二排气管。

2.如权利要求1所述的一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：所述第一进气管、第二进气管相对于所述真空烧结炉的外侧均分别设置有压力传感器、阀门结构，所述第一进气管、第二进气管分别外接至对应的气源。

3.如权利要求1所述的一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：所述真空烧结炉的底部非石英中心管的区域设置有外通的第二排气管，所述第一排气管、第二排气管上分别连接有压力传感器。

4.如权利要求3所述的一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：所述第一排气管、第二排气管的出口并联至真空排气总管，所述真空排气总管的出口端设置有真空泵。

5.一种采用光纤预制棒母棒的烧结装置的烧结方法，其特征在于：将沉积获得的松散体置于石英中心管中，并盖上保温层，同步降低真空烧结炉内腔体和外腔体压力至，并保持一定时间A，之后同时并分别通过第二进气管向真空烧结炉的外腔体通入He、通过第一进气管向石英中心管的内腔通入O₂、Cl₂和He，并始终保证两侧的压力差范围在安全范围内，直至石英中心管的内腔的压力达到预设值，保持一定时间B将松散体内部的气体充分的去除，之后通过硅钼棒加热件加热升温，使得松散体内的OH和Cl₂充分的反应，同步启动真空泵，保持石英中心管外部压力相对于内部压力大一定数值，再将真空烧结炉内部的温度增加至1500℃，保持特定时间，使松散体充分玻璃化，之后再降至500℃，然后通过第一进气管、第二进气气管同时向炉内通入N₂，同时保持透明石英中心管内外的压力差40pa以内，待压力增加至大气压时，将烧结成型的松散体取出。

6.如权利要求5所述的一种采用光纤预制棒母棒的烧结装置的烧结方法，其特征在于：所述A的取值范围为15min～25min。

7.如权利要求5所述的一种采用光纤预制棒母棒的烧结装置的烧结方法，其特征在于：所述B的取值范围为25min～35min。