[发明专利]角度定位组件和工艺腔室

权利要求书

1.一种角度定位组件，适用于工艺腔室，所述工艺腔室包括腔室本体、相对腔室本体可旋转的接地电极板以及设置在所述腔室本体内的基座，所述基座用于承载晶片，其特征在于，所述角度定位组件包括角度定位件，所述角度定位件与所述腔室本体固定连接，且能够用于限定所述接地电极板相对所述腔室本体的水平旋转角度，以使得所述接地电极板在所述基座上的正投影能够完全覆盖所述晶片；其中，

所述基座的横截面呈圆形，所述角度定位件呈弧形结构，该弧形结构的凸出方向背离所述基座中心。

2.根据权利要求1所述的角度定位组件，其特征在于，所述角度定位件包括朝向所述基座中心的内弧形侧壁以及背离所述基座中心的外弧形侧壁，所述内弧形侧壁能够与所述接地电极板接触，以限定所述接地电极板相对所述腔室本体的水平旋转角度。

3.根据权利要求2所述的角度定位组件，其特征在于，当所述角度定位件的内弧形侧壁与所述接地电极板接触时，所述角度定位件的内弧形侧壁、所述接地电极板以及所述基座的圆心同心。

4.根据权利要求2所述的角度定位组件，其特征在于，所述角度定位组件还包括角度定位底板和连接件，所述连接件的一端与所述角度定位件连接，所述连接件的另一端与所述角度定位底板连接，所述角度定位底板用于与所述腔室本体固定连接。

5.根据权利要求4所述的角度定位组件，其特征在于，所述角度定位组件还包括两个第一定位件和两个第一紧固件，所述角度定位底板的形状与所述角度定位件的形状相适配，所述连接件的一端通过其中一个所述第一定位件和其中一个所述第一紧固件与所述角度定位件固定连接，所述连接件的另一端通过另外一个所述第一定位件和另外一个所述第一紧固件与所述角度定位底板固定连接，以使得所述角度定位件的内弧形侧壁和所述角度定位底板的内弧形侧壁的圆心同心。

6.根据权利要求5所述的角度定位组件，其特征在于，所述角度定位组件还包括至少一个第二定位件和至少一个第二紧固件，所述角度定位底板用于通过所述第二定位件和所述第二紧固件与所述腔室本体固定连接，以使得所述角度定位底板的内弧形侧壁与所述基座的圆心同心。

7.根据权利要求2至6中任意一项所述的角度定位组件，其特征在于，所述角度定位组件还包括呈弧形的缓冲件，所述缓冲件包括朝向所述基座中心的内弧形缓冲侧壁以及背离所述基座中心的外弧形缓冲侧壁，所述外弧形缓冲侧壁与所述角度定位件的内弧形侧壁贴合，所述内弧形缓冲侧壁能够与所述接地电极板贴合，以限定所述接地电极板相对所述腔室本体的水平旋转角度。

8.根据权利要求7所述的角度定位组件，其特征在于，所述缓冲件由非金属材料制作形成。

9.根据权利要求7所述的角度定位组件，其特征在于，所述缓冲件沿圆周方向各处的径向厚度均相同，且所述缓冲件的所述内弧形缓冲侧壁的直径与所述接地电极板的直径相同。

10.一种工艺腔室，所述工艺腔室包括腔室本体、相对腔室本体可旋转的接地电极板以及设置在所述腔室本体内的基座，所述基座用于承载晶片，其特征在于，所述工艺腔室还包括权利要求1至9中任意一项所述的角度定位组件。