[发明专利]一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法

权利要求书

1.一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）在片层状的多晶硅片表面喷涂碳化硅粉末，形成高度为5-10μm的凸起结构；

（2）在步骤（1）的多晶硅表面沉积形成纳米氮化锡薄膜；

（3）施加包含四氟化碳、氮气和氩气的气体混合物形成的高密度等离子体蚀刻步骤（2）中的多晶硅表面，即得所述的氮化锡/硅负极材料；

所述的碳化硅粉末在多晶硅表面的覆盖率为30-50%；

步骤（1）中，通过喷砂机构对多晶硅片表面实施喷涂碳化硅粉末；

所述的纳米氮化锡薄膜的厚度为1-3μm。

2.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法，其特征在于：所述的碳化硅粉末的粒径为1-5μm。

3.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法，其特征在于：等离子体的气体混合物中，四氟化碳、氮气和氩气的气体流速比为1：（1.5-3）：（6-8.5）。

4.根据权利要求1所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料的制备方法，其特征在于：所述的等离子体的电子密度为5×10¹⁰~1×10¹¹电子/cm³。

5.一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料，其特征在于：所述的负极材料由权利要求1-4任意一项所述的制备方法制备得到。

6.根据权利要求5所述的用于锂电池的氮化锡/硅负极材料，其特征在于：所述的负极材料的首次放电比容量大于1358mAh/g，循环50次后的容量保持率大于95%。