[发明专利]一种双面研磨机

说明书

技术领域

本发明涉及晶片研磨领域，具体涉及一种双面研磨机。

背景技术

在光学晶片的生产过程中，研磨工艺是十分重要的一个环节。其中，双面研磨机主要用于对两面平行的晶体零件进行双面研磨，其中采用游星轮对晶体进行夹持。传统的游星轮开孔位置固定，使得同一片游星轮只能针对同一种形状的晶体进行夹持，导致了游星轮的利用率低，增加了的生产成本。例如，授权公告号为CN202804917U公开的一种研磨石英晶片用游星轮，其就只能对一种固定尺寸的晶片进行加工，若需要加工其他尺寸的晶片，则必须更换游星轮，不利于生产。

发明内容

本发明的目的，是为了解决背景技术中的问题，提供一种双面研磨机。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种双面研磨机，包括：底座台、上压台和游星轮，所述底座台顶部设置有研磨腔，所述研磨腔外圈设置有内齿齿轮，所述研磨腔底部设置有底部研磨片，所述研磨腔中心设置有驱动齿轮，所述上压台包括，中心驱动盘、驱动电机和上研磨片，所述驱动电机与所述中心驱动盘相连，所述中心驱动盘与所述驱动齿轮相装配，平面方向上所述游星轮设置在所述驱动齿轮与所述内齿齿轮之间，高度方向上所述游星轮设置在所述上研磨片与所述底部研磨片之间；所述游星轮包括，同心设置的基体齿盘和定位盘，所述基体齿盘外圈设置有齿，所述基体齿盘内部设置有矩形孔，所述矩形孔内设置有定位滑块，所述定位盘包括活动轮和卡位环；所述定位滑块通过连杆与所述活动轮相连，所述矩形孔的中心线穿过所述基体齿盘的圆心，所述定位滑块在所述连杆作用下沿所述矩形孔的中心线方向靠近或远离所述基体齿盘圆心移动。

待加工工件在上下设置的上研磨片和底部研磨片之间相对运动，从而起到打磨的效果。上述游星轮主要针对矩形的待打磨物件，使用时，将待研磨物件放置在矩形孔内，通过定位滑块将物件夹紧，由于定位滑块具有可滑动性，故本游星轮可以用于加工长度方向不同的各种待打磨物件。此外，通过定位盘保证了定位滑块的稳定定位。

作为优选，所述定位滑块包括，面层和底层，所述面层和底层之间设置有滑槽，所述矩形孔的边框扣于所述滑槽内。设置滑槽结构能保证，定位滑块移动过程以及定位位置的稳定性。

作为优选，所述基体齿盘包括正反两面，所述面层以及所述卡位环设置在所述基体齿盘的正面，所述底层和所述连杆设置在所述基体齿盘的反面，所述活动轮贯穿所述基体齿盘。

作为优选，所述定位滑块通过连杆插孔与所述连杆的一端相铰接，所述底层与所述连杆铰接处设置有连杆头活动槽，所述连杆头活动槽朝向所述定位滑块内侧凹陷，使得所述连杆表面高度低于或等于所述底层的表面高度，通过上述结构，可以有效控制整个游星轮的厚度，使得游星轮对不同厚度的物件具有更高的通用性。

作为优选，所述连杆的一端铰接与所述连杆插孔内，另一端铰接与设置在所述活动轮上的连接孔内。

作为优选，所述连杆插孔设置在所述定位滑块的中线上。

作为优选，所述卡位环与所述基体齿盘固定连接，其内圈设置有内棘齿；所述活动轮套设在所述卡位环内，其内部或表面设置有，棘爪和弹片，所述内棘齿包括，阻挡面和圆弧滑动面，所述棘爪包括，顶止面和转动部。

作为优选，所述活动轮的旋紧旋向与所述驱动齿轮的驱动旋向相同，这样的设置，可以保证在工作工程中，对加工物件的夹持不会变松，会随着旋转作用越旋越紧。

作为优选，所述基体齿盘反面设有用于对所述连杆进行限位的限位台，用以控制连杆的活动角度，保证定位效果。

作为优选，上压台上设置有穿透所述上研磨片设置的冷却液管，保证加工过程中的冷却效果。

作为优选，所述驱动齿轮顶部设置有驱动插槽，所述中心驱动盘底部设置有驱动插条，所述驱动插条与所述驱动插槽相互匹配。

综上所述，本发明通过采用活动式的游星轮对待加工物件在矩形孔内进行定位，从而使得本双面研磨机可用于对不同长度的待加工物件进行夹持加工，提高了设备的通用性，方便了工厂的生产加工。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明游星轮基体齿盘正面结构示意图；

图3是本发明游星轮基体齿盘反面结构示意图；

图4是本发明定位滑块的结构示意图；

图5是本发明定位盘的结构示意图；

图6是本发明的使用示意图。

具体实施方式