[发明专利]掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板在审
| 申请号： | 201711006716.2 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107653435A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 苏君海;龚建国;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 及其 组件 掩膜板 | ||
1.一种掩膜装置，其特征在于，包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；
所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；
所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮挡件开设有若干通口；
所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口与对齐的各所述通孔连通，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通口形状相同。
3.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通口中至少有两个所述通口的形状相异。
4.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述通口的形状为不规则形状。
5.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述遮挡件为遮挡膜。
6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，各所述通孔呈矩形阵列设置。
7.一种掩膜组件，其特征在于，包括一掩膜板和一遮挡件；
所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等，所述遮挡件开设有若干通口；
所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口与对齐的各所述通孔连通，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
8.根据权利要求7所述的掩膜组件，其特征在于，各所述通口形状相同。
9.根据权利要求7所述的掩膜组件，其特征在于，各所述通口中至少有两个所述通口的形状相异。
10.一种掩膜板，所述掩膜板的边沿用于与一掩膜框架连接，其特征在于，所述掩膜板上均匀开设有若干通孔，各所述通孔的形状相同，且各所述通孔的尺寸相等。
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