[发明专利]一种磁流体密封装置

说明书

本发明公开了一种磁流体密封装置，包括壳体；壳体包括连接内圈、连接外圈；在壳体上开设有内孔；安装在内孔内部的密封副；在密封副的内部开设有转轴安装孔和轴承安装孔；空腔；镶嵌在空腔内部的线圈；与线圈电性连接的接线柱；设置在连接内圈和连接外圈交汇处的卡槽；穿插在卡槽内部的卡紧块；在卡紧块的内部开设有同轴设置的液体填充腔；固定套接在卡紧块的外圈两侧，并与液体填充腔内部连通的软管；安装在转轴安装孔内部，并与卡紧块连接的转轴。本发明通过利用磁性吸附的原理，对连接内圈和连接外圈之间进行密封，有效防止气体、液体在真空环境下泄漏，提高制备薄膜的效率和质量。

技术领域

本发明涉及磁流体密封技术领域，更具体的说是涉及一种磁流体密封装置。

背景技术

高质量大面积超导薄膜是微波电子器件领域必不可少的基础原材料。高温超导薄膜材料具有极低的微波表面电阻，其微波表面电阻比普通金属低两个数量级以上，因此应用超导材料制作的微波超导器件具有极低损耗和极低噪声的优良特性。90年代初期，美国、日本、英国、德国、俄罗斯等国投入巨资，进行了高温超导薄膜材料的研究开发。主要采用磁控溅射、激光蒸发和共(热)蒸发等真空方法制备，设备投资规模大、运行维护成本高，加上进口所需的各种费用，使得产品价格较昂贵，更重要的是交货期无法保证，加之以语言上的障碍和地理上的距离所导致的交流不便都严重削弱了国外厂家的市场竞争力。因此，寻找低成本高质量的薄膜制备技术对大面积高温超导薄膜的大规模应用开发和打破垄断具有重要的现实意义。

而对于超导薄膜的制备来说，其气密性要求较高，密封效果不好出现泄漏时，严重影响薄膜的质量，为此需要一种磁流体密封装置来增强设备的气密性，以提高制备薄膜的效率和质量。参见说明书附图1介绍了一种用于多片超导薄膜热处理的装置，其中在万向轴和密封法兰的连接处安装有磁流体密封装置(A处位置)，通过提高设备的气密性来提高薄膜的质量。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种磁流体密封装置，通过利用磁性吸附的原理，对连接内圈和连接外圈之间进行密封，有效防止气体、液体在真空环境下泄漏，提高制备薄膜的效率和质量。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种磁流体密封装置，包括：壳体；所述壳体包括连接内圈、套接在所述连接内圈外部的连接外圈；还包括：在所述壳体上开设有内孔；安装在所述内孔内部的密封副；在所述密封副的内部开设有转轴安装孔和轴承安装孔；安装在所述轴承安装孔内部的轴承；开设在所述连接外圈内部，并与所述连接外圈同轴设置的空腔；镶嵌在所述空腔内部的线圈；焊接在所述连接外圈的外部，并与所述线圈电性连接的接线柱；位于所述空腔的一侧，并设置在所述连接内圈和所述连接外圈交汇处的卡槽；穿插在所述卡槽内部，并呈圆环形的卡紧块；在所述卡紧块的内部开设有同轴设置的液体填充腔；固定套接在所述卡紧块的外圈两侧，并与所述液体填充腔内部连通的软管；安装在所述转轴安装孔内部，并与所述卡紧块连接的转轴。

优选的，在上述一种磁流体密封装置中，所述轴承安装孔的数目为两个，且所述轴承孔安装孔中均设置有所述轴承。

为了保证转轴相对于密封副运转稳定，所以在密封副内设置两个轴承安装孔，以便于在密封副内安装有两个轴承，以使该磁流密封装置的运转和密封达到最佳效果；并且两个轴承安装孔设置的最佳位置为密封副两端的内部，这样可以很容易的将两个轴承安装在两个轴承安装孔内。

优选的，在上述一种磁流体密封装置中，开设在所述连接外圈上，并与所述卡槽连通的通孔。

优选的，在上述一种磁流体密封装置中，通过所述通孔，所述软管从所述连接外圈的内部伸出至外界。

优选的，在上述一种磁流体密封装置中，所述轴承安装孔的外侧设置有固定所述轴承的端盖。

轴承的一端固定在密封副的轴承安装孔内，而另一端没有相应的固定装置，为了避免轴承的轴向窜动，所以在轴承安装孔的外侧设置能够固定轴承的端盖，以保证密封装置在运转时，轴承处于稳定状态。