[发明专利]药液供应装置及包括药液供应装置的药液吐出装置

权利要求书

1.一种药液供应装置，用于利用预定的压力从储存槽向喷墨头供应药液，其特征在于，包括：

压力生成部件，其形成所述预定的压力；

连接线路，其连接所述压力生成部件和所述储存槽；

感测部件，其在所述连接线路感测当前的压力；

压力调整部件，其将所述感测部件感测的所述当前的压力调整为设定压力；

切断部件，其分离所述感测部件与外部环境；

控制部件，其通过控制所述压力调整部件将所述感测部件感测的所述当前的压力调整为所述设定压力使得残留于所述喷墨头的喷嘴端部的所述药液保持所需状态的弯液面；以及

腔体，其提供收容所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件的空间以使所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件分离于所述外部环境。

2.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：

所述感测部件包括一体形成的传感器板，所述切断部件分离所述传感器板与所述外部环境。

3.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，所述切断部件包括：

盒部分，其提供分离所述感测部件与所述外部环境的空间；以及

密封部分，其密封所述盒部分。

4.根据权利要求3所述的药液供应装置，其特征在于：

所述密封部分包括硅胶密封部件。

5.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：

所述压力调整部件包括伺服阀。

6.一种药液吐出装置，其特征在于，包括：

喷墨头，其向基板上吐出药液；

储存槽，其储存向所述喷墨头供应的所述药液；以及

药液供应单元，其利用预定的压力从所述储存槽向所述喷墨头供应所述药液，其中

所述药液供应单元包括：

压力生成部件，其生成所述预定的压力；

连接线路，其连接所述压力生成部件和所述储存槽；

感测部件，其感测所述连接线路处的当前的压力；

压力调整部件，其将所述连接线路处的所述当前的压力调整为设定压力；

切断部件，其切断所述感测部件与外部环境；以及

控制部件，其通过控制所述压力调整部件将所述感测部件感测的所述当前的压力调整为所述设定压力使得残留于所述喷墨头的喷嘴端部的所述药液保持所需状态的弯液面，

所述药液吐出装置还包括：

腔体，其提供收容所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件的空间以分离所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件与所述外部环境。

7.根据权利要求6所述的药液吐出装置，其特征在于：

所述感测部件包括一体形成的传感器板，所述切断部件分离所述传感器板与所述外部环境。

8.根据权利要求6所述的药液吐出装置，其特征在于，所述切断部件包括：

盒部分，其提供分离所述感测部件与所述外部环境的空间；以及

密封部分，其密封所述盒部分。