[发明专利]一种六氟化钨的合成方法有效
申请号: | 201710996957.X | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN107540020B | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 张建长;雷海平 | 申请(专利权)人: | 欧中电子材料(重庆)有限公司 |
主分类号: | C01G41/04 | 分类号: | C01G41/04 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 401220 重庆市长*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氟化 合成 方法 | ||
1.一种六氟化钨的合成方法,其特征是:将钨粉与金属氟化物装入反应器中通过搅拌充分混合,在反应条件下通入氟气进行反应合成六氟化钨,未反应完的原料氟气与产物六氟化钨经过冷凝气液分离后,再返回反应器循环反应;所述的金属氟化物为三氟化钴或二氟化银,所述的反应条件:温度270℃~350℃,压力0~0.1MPa。
2.根据权利要求1所述的一种六氟化钨的合成方法,其特征是:工艺步骤如下:
a.将钨粉和金属氟化物装入反应器中,并通过搅拌充分混合;
b.将所述的原料氟气在反应温度条件和反应压力条件下经吸附器后通入反应器中反应,反应后排出的气体为未反应的原料氟气和生成的六氟化钨组成的混合气体;
c.将混合气体经过滤器除去固体颗粒后,通入低温收集罐中进行六氟化钨粗产品的收集,而未冷凝下来的原料氟气再经压缩机增压返回反应器重新进行反应;
d.将收集的六氟化钨粗产品输送到纯化系统,经干燥、吸附、精馏制得高纯的六氟化钨产品。
3.根据权利要求1或2所述的一种六氟化钨的合成方法,其特征是:所述的原料氟气为5N氟气,钨粉为3N钨粉。
4.根据权利要求1或2所述的一种六氟化钨的合成方法,其特征是:所述金属氟化物装入反应器的量为反应器体积的1/4~1/3之间。
5.根据权利要求1或2所述的一种六氟化钨的合成方法,其特征是:所述反应器的材质为蒙乃尔、铬镍铁合金、耐酸镍合金中的任意一种。
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