[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示面板及显示装置有效
申请号: | 201710987228.8 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN107658294B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 张鹏曲;孙宝庆 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L21/77 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 王辉;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制造 方法 显示 面板 显示装置 | ||
本公开涉及显示领域,提供了一种阵列基板及其制造方法、显示面板及显示装置,所述阵列基板的制造方法包括:提供一具有像素区和扇出区的阵列基板;在所述扇出区中形成第一布线区、第二布线区及位于所述第一布线区和所述第二布线区之间的悬空区,并与所述像素区相接;在所述悬空区中形成一薄膜虚拟金属线;图案化所述薄膜虚拟金属线。通过图案化所述薄膜虚拟金属线,一方面减少了静电积累,防止或杜绝了静电击穿的产生;另一方面避免了在对配向膜摩擦取向时产生Rubbing Mura,提高了产品的性能。另外去除薄膜虚拟金属线的方法简单,减少了阵列基板的加工工艺、降低了制造成本。
技术领域
本公开涉及显示领域,特别涉及一种阵列基板、阵列基板的制造方法、包含阵列基板的显示面板和显示装置。
背景技术
近年来,显示器的发展趋势逐渐往高集成度、低成本的方向发展,从最初的CRT(Cathode Ray Tube,阴极射线管)显示器到现在普遍使用的液晶显示器,其集成度、制造成本、画面质量等均有了很大的改善。
现有技术中,在制造显示面板时经常会产生静电,当静电电荷积累到一定程度可能会引起静电击穿(Electrostatic Discharge,ESD),对器件的性能造成不良影响。特别是在制造阵列基板时,两颗IC之间存在大面积的虚拟金属线,容易在像素区发生静电击穿(发生率3%~4%)。
综上可知,如何减少或杜绝静电区中发生静电击穿,以保证显示面板的性能是本领域亟待解决的问题。
需要说明的是,在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种栅极驱动电路补偿装置、栅极驱动电路及显示装置,进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。
本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然,或部分地通过本公开的实践而习得。
根据本公开的第一方面,提供一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
提供一具有像素区和扇出区的阵列基板;
在所述扇出区中形成第一布线区、第二布线区及位于所述第一布线区和所述第二布线区之间的悬空区,并与所述像素区相接;
在所述悬空区中形成一薄膜虚拟金属线;
图案化所述薄膜虚拟金属线,以去除所述悬空区的部分或全部所述薄膜虚拟金属线。
在本公开一示例性实施例中,图案化所述薄膜虚拟金属线,包括:
在所述薄膜虚拟金属线上涂覆光刻胶;
在所述光刻胶上设置掩膜版;
对所述薄膜虚拟金属线进行光刻形成图案化结构。
在本公开一示例性实施例中,其特征在于,在所述悬空区形成多个阵列排布的块状虚拟金属线。
在本公开一示例性实施例中,所述薄膜虚拟金属线和所述块状虚拟金属线均包括虚拟栅极线和虚拟数据线。
根据本公开第二方面,提供一种阵列基板,其特征在于,包括:
像素区;
扇出区,包括第一布线区、第二布线区及位于所述第一布线区和所述第二布线区之间的悬空区,且与所述像素区相接;
所述悬空区中设有多个间隔排列的块状虚拟金属线。
在本公开一示例性实施例中,所述块状虚拟金属线在所述悬空区中阵列排布。
在本公开一示例性实施例中,所述块状虚拟金属线包括虚拟数据线和虚拟栅极线。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的