[发明专利]一种磁光玻璃基离子交换制备磁光平面波导的方法

权利要求书

1.一种磁光玻璃基离子交换磁光平面条形波导芯片，其特征在于: 磁光玻璃基片表面光波导功能区域之外的部分进行掩膜保护; 通过熔融混合盐离子交换方法在磁光玻璃基片中形成离子扩散区，离子扩散区的折射率和磁光效应均高于玻璃基片的折射率和磁光效应，条形离子扩散区和具有磁光功能的玻璃分别构成条形磁光波导的芯部和外包层；本发明通过如下步骤实施：1）在800-1000°C温度下熔融淬火制备磁光玻璃基片，并双面抛光磁光玻璃基片; 2）制作掩膜，对磁光玻璃表面光波导区域之外的部分采用热蒸发方法制作Cr-Au掩膜; 3）按比例称量配置混合盐溶液，并在同一温度下分别加热磁光玻璃和混合盐至离子交换温度260-290°C，然后把同样温度的磁光玻璃投入混合盐溶液中保持5-20分钟后取出，用60°C左右的去离子水清洗干净; 4）用化学腐蚀方法去除Cr-Au掩膜; 5）对磁光玻璃进行220-270°C退火处理1-2小时，降至室温后完成磁光玻璃的磁光波导制备。

2.根据权利要求1所述磁光玻璃基片为逆磁PbO-Bi₂O₃-B₂O₃-Na₂O玻璃，或者TeO₂-PbO-B₂O₃-Na₂O玻璃。

3.根据权利要求1所述的混合盐溶液为AgNO₃/NaNO₃/KNO₃ ，其摩尔比为1：47：52。