[发明专利]一种高导热的金属基电路板及其制作方法在审
申请号: | 201710979512.0 | 申请日: | 2017-10-19 |
公开(公告)号: | CN107708296A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 王红英;李志军 | 申请(专利权)人: | 深圳职业技术学院 |
主分类号: | H05K1/05 | 分类号: | H05K1/05;H05K1/02;H05K3/44 |
代理公司: | 深圳市兰锋知识产权代理事务所(普通合伙)44419 | 代理人: | 曹明兰 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导热 金属 电路板 及其 制作方法 | ||
1.一种高导热的金属基电路板,其特征在于:
包括金属基板(1)、氮化铝绝缘层(2)、导电金属层(3);
所述氮化铝绝缘层(2)设置在金属基板(1)的上表面;
所述导电金属层(3)设置在氮化铝绝缘层(2)的上表面。
2.根据权利要求1所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述氮化铝绝缘层(2)喷涂在导电金属层(3)的上表面;
所述氮化铝绝缘层(2)的厚度为0.2-3mm。
3.根据权利要求1所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述导电金属层(3)包括导电层,及用于电镀所述导电层的种子金属层;
所述种子金属层设置在氮化铝绝缘层(2)上;
所述导电层设置在所述种子金属层上。
4.根据权利要求1所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述金属基板(1)的底面设置有散热鳍片或齿面。
5.根据权利要求1所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述金属基板(1)为铝基板或铜基板。
6.根据权利要求1所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述导电金属层(3)为铜导电层或铜银导电层。
7.根据权利要求3所述的高导热的金属基电路板,其特征在于:
所述种子金属层包含钛层(31)、第一铜层(32);所述第一铜层(32)设置在钛层(31)上;
所述导电层包含镍层(33)、第二铜层(34);所述镍层(33)设置在第一铜层(32)上;所述第二铜层(34)设置在镍层(33)上。
8.一种高导热的金属基电路板制作方法,其特征在于:
包括以下步骤:
步骤1:对金属基板(1)表面进行预处理;
步骤2:采用纳米粉末等离子喷涂方法,向预处理后的金属基板(1)表面喷涂氮化铝绝缘层(2);
步骤3:在氮化铝绝缘层(2)表面印制导电金属层(3),然后烧结。
9.一种高导热的金属基电路板制作方法,其特征在于:
包括以下步骤:
步骤1:将金属基板(1)进行表面清洗,然后进行细粒径的喷砂处理,去掉氧化膜和表面污染物;
步骤2:采用纳米粉末等离子喷涂方法,向处理后的金属基板(1)表面喷涂氮化铝绝缘层(2);然后采用精密磨床对喷涂后的氮化铝绝缘层(2)表面进行磨平处理;
步骤3:用磁控溅射工艺在磨平并清洗后的氮化铝绝缘层(2)表面上形成钛层(31)和第一铜层(32);用光刻方式在第一铜层(32)表面形成电路图案;采用电镀方法在第一铜层(32)表面形成镍层(33)和第二铜层(34);将光刻胶和钛层(31)和第一铜层(32)去除。
10.一种高导热的金属基电路板制作方法,其特征在于:
包括以下步骤:
步骤1:将金属基板(1)进行表面清洗,然后进行细粒径的喷砂处理,去掉氧化膜和表面污染物;
步骤2:采用纳米粉末等离子喷涂方法,向处理后的金属基板(1)表面喷涂氮化铝绝缘层(2);
步骤3:在氮化铝绝缘层(2)表面均匀刷上一层金属浆料,然后烧结。
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