[发明专利]微机械z加速度传感器

权利要求书

1.一种微机械z加速度传感器(100)，其具有：

具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，

所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，

所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内法向于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接，其中，所述梁状连接元件(30)设置在所述扭转弹簧(20)与所述振动质量元件(10)之间，并且在所述扭转弹簧(20)的两端处分别在所述梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)之间形成间隙。

2.根据权利要求1所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，

所述扭转弹簧(20)比所述连接元件(30)受限定地更软并且所述连接元件(30)比所述振动质量元件(10)受限定地更软。

3.根据权利要求1或2所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，所述连接元件的宽度是2μm至5μm。

4.根据权利要求1或2所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，所述连接元件(30)的长度是100μm至200μm。

5.根据权利要求1或2所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，借助模拟方法求取所述连接元件(30)的尺寸。

6.根据权利要求1或2所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，所述扭转弹簧(20)与所述连接元件(30)之间的过渡区域(31)受限定地以圆角构造。

7.根据权利要求1或2所述的微机械z加速度传感器(100)，其特征在于，所述连接元件与所述振动质量元件(10)以及所述扭转弹簧(20)整体地构造。

8.一种用于制造根据权利要求1至7中任一项所述的微机械z加速度传感器(100)的方法，所述方法具有以下步骤：

构造具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；

借助锚固元件(21)将所述扭转弹簧(20)固定在衬底上；其中，

所述扭转弹簧(20)在两端处借助各一个连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接，其中，在所述振动质量元件(10)的平面内法向于所述扭转弹簧(20)梁状地构造所述连接元件(30)。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，整体地构造所述连接元件与所述振动质量元件(10)以及所述扭转弹簧(20)。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中，比所述连接元件(30)受限定地更软地构造所述扭转弹簧(20)并且比所述振动质量元件(10)受限定地更软地构造所述连接元件(30)。