[发明专利]一种TFT基板的制备方法以及TFT基板

说明书

本发明公开了一种TFT基板的制备方法以及TFT基板。该方法包括：提供一硅晶圆板材；在硅晶圆板材上形成第一掩膜结构，并进行刻蚀处理，以形成岛状结构；对岛状结构进行逐层切割，以形成硅晶圆小板；将硅晶圆小板粘附至基板上，以形成TFT基板。通过上述方式，本发明能够在基板上形成岛状结构，提高基板在弯折过程中的稳定性。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种TFT基板的制备方法以及TFT基板。

背景技术

柔性显示面板，是一种可变型可弯曲的显示装置。柔性显示面板可以包括电子纸、LCD、OLED等，其中，OLED柔性显示面板具有低功耗，低厚度，可收卷等特点，受到人们的广泛关注。

OLED柔性显示面板包括柔性基板，OLED显示器件，和连接OLED显示器件的引线。其中，OLED显示器件包括相对设置的阳极与阴极、设置在阳极与阴极之间的功能层。OLED显示面板的发光原理是半导体材料和有机发光材料在阴极与阳极之间的电场驱动下，通过载流子注入和复合进而发光。

聚酰亚胺(PI)柔性基板是具备良好的弯折性能和耐温性能的柔性基板，因此可用于OLED柔性显示面板的基板。为了减轻柔性基板和TFT器件膜层之间应力失配，提高多次弯折过程中的稳定性，可以将柔性基板设计成岛状结构，但是如何实现聚酰亚胺柔性基板的岛状结构是一大难点。

发明内容

有鉴于此，本发明主要解决的技术问题是提供一种TFT基板的制备方法以及TFT基板，能够在基板上形成岛状结构，提高基板在弯折过程中的稳定性。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种TFT基板的制备方法，该方法包括：

提供一硅晶圆板材；在硅晶圆板材上形成第一掩膜结构，并进行刻蚀处理，以形成岛状结构；对岛状结构进行逐层切割，以形成硅晶圆小板；将硅晶圆小板粘附至基板上，以形成TFT基板。

为解决上述技术问题，本发明采用的又一个技术方案是：提供一种TFT基板，该TFT基板由上述实施例所阐述的TFT基板的制备方法制得，该方法包括：

提供一硅晶圆板材；在硅晶圆板材上形成第一掩膜结构，并进行刻蚀处理，以形成岛状结构；对岛状结构进行逐层切割，以硅晶圆小板；将硅晶圆小板粘附至基板上，以形成TFT基板。

本发明的有益效果是：本发明通过在硅晶圆板材上形成第一掩膜结构并以其为掩蔽，进行刻蚀以形成岛状结构，再将岛状结构逐层切割并粘附于基板上，以形成TFT基板，能够提高基板在弯折过程中的稳定性，减轻基板与TFT器件膜层之间的应力失配。

附图说明

图1是本发明TFT基板制备方法一实施例的流程示意图；

图2是本发明TFT基板制备方法另一实施例的流程示意图；

图3是本发明第一掩膜结构一实施例的结构示意图；

图4是本发明岛状结构一实施例的结构示意图；

图5是本发明第二掩膜层以及第一保护层一实施例的结构示意图；

图6是本发明第二保护层一实施例的结构示意图；

图7是本发明第二保护层子层一实施例的结构示意图；

图8是本发明粘附硅晶圆小板的基板一实施例的结构示意图；

图9是本发明TFT基板一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。