[发明专利]压电材料、压电元件和电子装置

权利要求书

1.一种压电材料，包括：

由通式(1)表达的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分：

(Ba_1-xCa_x)_a(Ti_1-yZr_y)O₃，其中1.00a≤1.01、0.125≤x0.155以及0.041≤y≤0.074；以及

Mn成分，其中，压电材料含有的Mn的含量为相对100重量份金属氧化物换算成金属计为0.12重量份以上、0.30重量份以下，并且

其中压电材料的晶粒的平均等效圆直径为1μm以上、10μm以下，

其中压电材料不具有范围在-25℃至100℃的晶相转变温度，

其中在Mn溶于钙钛矿型金属氧化物的B位的情况下，在钙钛矿型金属氧化物的A位的Ba和Ca的总摩尔量A与在钙钛矿型金属氧化物的B位的Ti、Zr和Mn的总摩尔量B的比率A/B的范围是0.992≤A/B≤0.999。

2.根据权利要求1所述的压电材料，其中，压电材料具有100℃以上的居里温度。

3.根据权利要求1或2所述的压电材料，其中，在通式(1)中y的值介于0.051≤y≤0.074的范围。

4.根据权利要求1或2所述的压电材料，其相对密度为97.0％以上、100％以下。

5.根据权利要求1或2所述的压电材料，其进一步包含除了由通式(1)表达的成分和Mn以外的辅助成分，

其中相对于通式(1)表达的100重量份的钙钛矿型金属氧化物，辅助成分为1.2重量份以下。

6.根据权利要求1或2所述的压电材料，其中Mn的化合价为4+。

7.一种压电元件，包括第一电极、压电材料和第二电极，其中，压电材料是根据权利要求1所述的压电材料。

8.一种多层压电元件，包括交替堆叠的压电材料层和电极，电极包括内部电极，其中，压电材料层由根据权利要求1所述的压电材料构成。

9.根据权利要求8所述的多层压电元件，其中，内部电极含有Ag和Pd；Ag的含量M1与Pd的含量M2的重量比M1/M2满足0.25≤M1/M2≤4.0的关系。

10.根据权利要求8所述的多层压电元件，其中，内部电极含有Ni和Cu中的至少一种。

11.一种液体排出头，其包括：液体室，该液体室包括振动单元，振动单元具有根据权利要求7所述的压电元件或根据权利要求8所述的多层压电元件；和与该液体室连通的排出口。

12.一种液体排出装置，包括记录介质输送部和根据权利要求11所述的液体排出头。

13.一种超声波马达，包括：振动部件，其包括根据权利要求7的压电元件或根据权利要求8的多层压电元件；和与该振动部件接触的转子。

14.一种光学装置，包括驱动单元，驱动单元包括根据权利要求13的超声波马达。

15.一种振动装置，包括振动部件，该振动部件包括根据权利要求7的压电元件或根据权利要求8的多层压电元件。

16.一种除尘装置，包括振动部件，该振动部件包括根据权利要求7的压电元件或根据权利要求8所述的多层压电元件。

17.一种图像拾取装置，至少包括根据权利要求16的除尘装置以及图像拾取元件单元，其中，除尘装置包括布置在图像拾取元件单元的受光面侧的振动部件。

18.一种电子装置，包括压电声构件，该压电声构件包括根据权利要求7的压电元件或根据权利要求8的多层压电元件。